引言：当“高速"与“节能"在干式真空泵中实现统一
在半导体制造、FPD（平板显示器）生产、真空镀膜等制造领域，真空泵是保障工艺环境的核心设备。随着微细加工密度的不断提升和生产效率要求的日益严苛，真空设备面临着双重压力：一方面需要更快的排气速度以缩短生产节拍，另一方面必须控制能耗以降低运营成本。然而，传统的干式真空泵在追求低功耗时往往牺牲了排气速度，尤其是在大气压附近的关键区间。
日本ULVAC（爱发科）LS120A螺杆型干式真空泵的出现，正是对这一行业痛点的精准回应。作为LS系列中最大抽速120m³/h的入门型号，LS120A通过的螺杆形状设计与ECO-SHOCK节电技术的融合，在高速排气与低功耗之间实现了精密平衡。它既是ULVAC零部件产品线中的干式螺杆泵，也是清洁工艺与轻工艺两大应用场景的通用型解决方案。
一、核心参数：数字背后的性能密码
LS120A的核心技术参数如下表所示：
LS120A的参数体系中，值得关注的是其大气压附近的高抽速与极限压力下的超低功耗之间的平衡。大气压附近抽速达80m³/h，与以往真空泵相比，排气时间可缩短约20%。这一特性在load lock腔室的快速抽空中尤为关键——当腔内压力处于数千Pa以上的高压区间时，机械增压泵的助力效果有限，排气时间主要取决于干式真空泵自身在大气压附近的抽速。
在能耗方面，LS120A-C（清洁工艺规格）在极限压力下的功耗仅为0.6kW或以下，达到行业水平。这一数据背后是ULVAC的ECO-SHOCK技术的支撑——通过专有的螺杆形状与省电技术的融合，在保持高抽速的同时大幅降低了电能消耗。
电源系统方面，LS120A搭载了ULVAC自主研发的高效能（IE3）多电压马达，单一马达即可覆盖200-240V / 380-460V的宽电压范围。这一设计大幅简化了设备在不同国家和地区安装时的电源适配工作。
噪音控制方面，LS120A标配专用消音器，极限压力下的噪音值控制在61dB(A)以下——这是一个在运转过程中也不会造成干扰的噪音等级。同时，LS120A无需轴封气体，以氮气和空气等排气为主的清洁工艺可有效降低运行成本。
二、工作原理：锥形变距螺杆的精密气动设计
LS120A的核心工作原理建立在螺杆式容积泵的物理基础上。泵壳内的一对锥形、变距的螺杆转子在旋转过程中，将气体从吸气口引导至螺杆与泵壳之间的网状间隙中，并沿轴向连续输送到排气口。
这一设计的关键创新在于锥形与变距的结合：
（一）锥形螺杆设计
与传统等径螺杆不同，LS系列采用锥形螺杆——转子直径从吸气端到排气端逐渐变化。这一几何设计使得气体在压缩过程中能够获得更平滑的压力过渡，减少了气体泄漏和湍流损失，从而在全压力范围内保持较高的容积效率。
（二）变距螺杆设计
螺杆的螺距沿轴向变化，使得气体在输送过程中经历渐进的压缩而非突变的容积变化。这种设计不仅提升了泵的抽气效率，还显著降低了运行噪音和机械振动。
（三）无油干式运行
LS120A属于干式真空泵，泵腔内不使用油类作为密封或润滑介质。转子和泵体之间采用非接触式运行方式，通过精密的间隙控制实现气体密封。这一设计从根本上避免了油蒸气对真空腔体的污染，使其特别适合半导体、镀膜等对洁净度要求高的工艺环境。
（四）全压力范围连续运行
LS系列所有型号均支持从大气压到极限压力的全压力范围连续运行。这意味着LS120A可以在反复的“大气压-真空"循环中稳定工作，无需在特定压力区间停机或切换运行模式——这对于load lock腔室等需要频繁抽空-破空的场景尤为重要。
相比传统油封式旋转真空泵，LS120A的螺杆式干式设计在结构上更为简洁，长度缩短约1/3，重量减轻约1/3，同时免除了油品更换、油雾处理等维护环节，显著降低了长期运营成本。
三、核心技术：ECO-SHOCK与双规格设计
LS120A的技术竞争力，集中体现在ECO-SHOCK节电技术与C/L双规格设计两大核心创新上。
（一）ECO-SHOCK技术：低功耗的行业
ECO-SHOCK是ULVAC自主研发的省电技术。其核心逻辑是：通过专有的螺杆形状优化与电机驱动控制的协同设计，在保证高抽速的前提下，将极限压力下的功耗降至0.6kW以下。
这一数值的产业意义在于：在半导体工厂等大规模部署真空泵的场景中，每台泵每年可节省可观的电力成本。对于需要24小时连续运行的制造环境，ECO-SHOCK技术的节能效应将在设备的全生命周期中持续释放。
（二）C规格与L规格：双轨适配不同工艺
LS120A提供C（Clean） 和 L（Light） 两种规格，分别针对不同的工艺需求：
C规格专注于清洁工艺，以低的能耗完成洁净气体的抽空任务。L规格则针对轻工艺场景进行了特殊优化——配备了表面处理与吹扫（purge）功能，能够处理水蒸气和挥发性化学物质等更具挑战性的气体。L规格还支持稀释气体（吹扫气体）的导入，流量可在0-50 SLM范围内调节，最大水蒸气处理能力达1.5 kg/h。
这种“同一平台、双规格输出"的设计思路，使LS120A能够以单一硬件架构覆盖从半导体洁净室到一般工业的广阔应用光谱。
四、多元应用：从半导体制造到新能源电池
LS120A凭借其120m³/h的抽速、0.6Pa的极限压力、0.6kW的超低功耗以及无油干式运行的综合优势，在多个制造领域展现出广泛的应用价值。
（一）半导体与FPD制造（C规格）
这是LS120A最核心的应用领域。在半导体和FPD生产过程中，CVD、蚀刻、溅射等工艺需要在高度洁净的真空环境下进行。LS120A的干式无油设计确保了无污染运行，避免油蒸气对晶圆或面板造成污染。具体应用包括：
Load lock腔室抽空：在大气压与真空之间频繁切换的load lock腔室中，LS120A在大气压附近的高抽速（80m³/h）能够显著缩短抽空时间，提升生产效率
TMP（涡轮分子泵）辅助泵：作为TMP的前级泵，为其提供所需的背压环境
溅射与蒸镀：为物理气相沉积（PVD）工艺提供稳定的真空环境
贴合工艺：在面板贴合等工艺中提供洁净真空
（二）真空干燥与冷冻干燥（L规格）
L规格的LS120A具备水蒸气处理能力（最大1.5 kg/h），适用于：
（三）一般工业用途
LS120A还广泛适用于：
（四）系统组合与扩展
对于需要更高抽速的场景，LS120A可与机械增压泵（MBP） 组合使用，将系统抽速提升至120-1200m³/h级别。LS系列提供了从LS120A到LS1200A的四种型号，用户可根据设备尺寸、使用条件和应用需求选择最佳排气能力的泵。
五、产业启示：干式螺杆泵的“效能革命"
LS120A的技术价值，超越了“一款干式真空泵"的产品定义。它代表了ULVAC在螺杆泵设计与节能技术两个维度上的深度积累——不是简单地提供“抽速更大"或“功耗更低"的真空泵，而是通过锥形变距螺杆、ECO-SHOCK节电技术、双规格设计等核心技术的系统集成，为半导体制造、真空镀膜、一般工业等多元应用场景提供了性能可预测、能耗可控制、运行可依赖的干式真空解决方案。
在ULVAC的产品版图中，LS系列与MS系列共同构成了螺杆型干式泵的完整产品矩阵。LS120A作为LS系列的基础型号，以120m³/h的抽速精准切入中小腔体应用，与LS300A（380m³/h）、LS600A（600m³/h）、LS1200A（1000m³/h）共同覆盖了从实验室到大规模生产的全场景需求。
对于工艺工程师和设备管理者而言，LS120A的120m³/h抽速、≤0.6Pa极限压力、≤0.6kW功耗、≤61dB(A)噪音以及无油干式运行构成了一组高度确定的工艺参数。在半导体、FPD、新能源等行业持续向更高产能、更严苛洁净度、更低运营成本演进的产业浪潮中，像LS120A这样 “参数明确、性能稳定、定位精准" 的干式真空泵，其价值不仅在于“完成抽空"，更在于为制造提供一个兼具速度与节能的可靠真空解决方案。
您的位置：
更新时间：2026-08-05 
浏览次数：19
