玉崎科学原装可定制MIYUKI美幸辉：真空控制领域的日系精工之选

摘要

MIYUKI美幸辉是日本著名的真空阀门与压力控制系统品牌，自1967年创立以来，深耕高真空阀门及精密压力控制领域数十年。玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为其中国区域战略合作伙伴，提供原厂进口、可定制化的全系列真空阀门与压力控制器产品。本文系统梳理MIYUKI美幸辉的产品体系、中国市场热销主力型号及应用场景，为真空系统设计、工艺设备选型及采购决策提供专业参考。

一、品牌背景与产品定位

MIYUKI美幸辉是一家日本老牌精密真空流体企业，全系产品在无尘车间完成组装调校。其技术优势可概括为三大核心：真空密封技术、洁净流体控制技术、精密开度调节技术。产品覆盖粗真空至高真空全工况，以超低泄漏、高洁净、精密可控、超长耐用四大核心优势，成为半导体、光学镀膜、锂电新能源、科研实验室及光伏设备的标配真空隔断与调节部件。

MIYUKI美幸辉的产品线主要分为五大类：气动真空蝶阀、电动伺服控制蝶阀、真空闸阀、L型高真空角阀以及真空压力控制器。

二、中国市场热销主力型号

2.1 气动真空蝶阀——市场出货量最大的品类

气动真空蝶阀是MIYUKI在中国市场销量前排的产品线，分为三大系列：

B系列——标准气动蝶阀

热销型号：B-C100、B-C160、B-C200、B-C250

B系列采用齿轮齿条气动执行器驱动，标配全开全闭微动开关信号反馈，气缸内置气垫缓冲，启闭减震降噪。口径覆盖DN25-400，支持JIS/ISO/KF/CF多种法兰标准。阀座密封泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s。适用于镀膜机、真空炉及常规真空管路的通断控制，性价比高，存量最多。

BH系列——两段式气动蝶阀（缓冲泄压）

热销型号：BH-I160、BH-J100、BH-J250

BH系列配备双级气缸，具备0°全关-45°半开-90°全开三档位，单阀即可实现慢排气与快速排气。两段动作设计可实现“慢泄压+快抽气"，有效避免气流冲击对工件的损伤。主要应用于光学镀膜、锂电原料脱气等对气流冲击敏感的工艺场景。

G系列——气动伺服调节蝶阀

热销型号：G-J100、G-J160、G-J250

G系列采用压缩空气驱动实现无级开度调节，无需伺服电机。0-90°任意开度可锁定，无需电机供电。球面多点压紧密封，正向和反向压差均可可靠密封。适用于镀膜设备流量调节及中小型真空腔体调压。

2.2 电动伺服控制蝶阀——半导体与精密镀膜的主力

BAR系列——电机直驱蝶阀

热销型号：BAR-J150、BAR-J200、BAR-J250

采用伺服电机直驱，无齿轮背隙，0-90°全行程任意开度精准定位。内置位置传感器，停电时可保持阀位。低发尘特性使其适用于PVD、光学镀膜、真空热处理等对洁净度要求较高的工艺。

GAR系列——伺服真空蝶阀（半导体主力）

热销型号：GAR-J200B、GAR-J250、GAR-J300B

GAR系列是MIYUKI在半导体领域的拳头产品，具备低颗粒析出特性，适配8英寸和12英寸晶圆设备。可搭配MGCS-11控制器实现闭环压力控制。主要应用于刻蚀、CVD等半导体工艺设备，是众多进口设备的标配型号。

BJ4系列——普通电动开关蝶阀

热销型号：BJ4-J160、BJ4-J250

仅用于开关控制，不具备精密调节功能，适用于需要电控通断的真空管路。

2.3 真空闸阀系列

L系列气动闸阀

热销型号：L-I100、L-I160、L-I250，大口径L-I350

薄型闸板设计，反压密封性能优异，常作为真空机组主路隔断阀使用。

GH系列高性能气动闸阀

热销型号：GH-I160、GH-I250，大口径GH-I400/I500

采用球压密封结构，反压密封能力更强，适合严苛的量产设备环境。

GR手动闸阀

热销型号：GR-C100、GR-C160、GR-C200

适用于无气源工况的旁路、检修隔断，实验室设备常用。

2.4 L型高真空角阀

AE/AER系列（O型圈轴封）

热销型号：AE-N16、AE-N25、AE-N40

KF小口径出货量最大，适用于常规高真空管路。

AB/ABR系列（波纹管密封，超高真空）

热销型号：ABR-N16、ABR-N25

采用金属波纹管全隔离密封结构，无泄漏。适用于科研超高真空腔体等对泄漏率要求高的场景。

AEH系列——气动波纹管L阀

适用于自动化产线小腔体隔断。

2.5 真空压力控制器——智能闭环控制的核心

MGCS-11——国内热销的控制器

MGCS-11是国内市场销量大的MIYUKI控制器型号。配备4英寸彩色触摸屏，内置7组PID存储配方，支持RS232/485通讯。搭配BAR/GAR系列蝶阀即可组成闭环压力控制系统。

MGCS-21——双通道独立控制器

MGCS-21为双通道独立PID闭环控制器，通道1和通道2各有一套独立PID运算，互不干扰。单台控制器可驱动2台BAR/GAR/G系列伺服调节阀，分别对应两套独立腔体或双工艺段。配备5英寸彩色触摸屏，可同屏显示双通道的压力、开度及报警状态。控制精度达设定压力的±0.1% FS。多用于双腔镀膜、串联工艺腔体及双工位设备。

MG-mini485——小型经济型控制器

MG-mini485是一款小型化、经济型的自动压力控制器。支持RS-485通讯，双组PID记忆功能可实现快速自动压力控制，控制精度为设定压力的±0.5%。通过指定单元编号，最多可连接七台单元进行多点连接。适合设备集成配套。

MS-VP——电压型阀门驱动控制器

MS-VP是一款专为复杂真空环境设计的复合式压力控制器，集成了真空度控制与正压控制功能于一体。其技术核心在于独特的双传感器信号采集技术，可同时接入大气压型压力传感器与皮拉尼/电容薄膜规。支持设定点控制、外部模拟量控制以及程序控制——程序控制功能允许用户预设多达20步的压力变化曲线。MS-VP可与BAR系列蝶阀或GAR系列闸阀组合成指定开度的压力控制系统。在半导体晶圆传输、冷冻干燥机及真空热处理炉等关键工艺设备中广泛应用。

三、主要应用领域

3.1 半导体制造

半导体工艺对真空环境的洁净度和稳定性要求极为苛刻。MIYUKI的GAR系列伺服蝶阀低颗粒析出特性使其成为8英寸和12英寸晶圆设备的标配。主要应用于刻蚀、CVD沉积、晶圆镀膜、离子注入等工艺中的腔体隔断与压力控制。GAR系列搭配MGCS系列控制器组成的闭环压力控制系统，为半导体制程提供了高精度的工艺压力保障。

3.2 光学真空镀膜

光学真空镀膜对腔体内压力稳定性要求高，压力波动会直接影响薄膜均匀度和透光率。MIYUKI整套真空调压组件被大量用于镜头增透膜、ITO导电膜、玻璃镀铝等镀膜产线。BAR伺服蝶阀搭配MGCS控制器组成闭环压力控制单元，可实时调节腔体压力，抑制抽气和进气带来的压力扰动。设备低发尘特性减少了微粒落在光学基材表面的风险，降低了不良品率。工艺结束破空阶段，阀门可设置小开度缓破空，避免气流冲击造成膜层损伤。

3.3 锂电新能源

在锂电池生产中，真空环境是极片干燥、注液、脱气等关键工序的必要条件。BH系列两段式气动蝶阀的“慢泄压+快抽气"功能，可有效避免气流冲击对电极材料造成损伤。MIYUKI产品在锂电原料脱气等工艺环节中应用广泛。

3.4 真空热处理与真空炉

在真空热处理炉中，MIYUKI的L系列气动闸阀常作为真空机组主路隔断阀使用。GH系列高性能闸阀的球压密封结构，可满足严苛量产设备对反压密封的高要求。MS-VP控制器的程序控制功能允许用户预设多达20步的压力变化曲线，非常适合需要复杂工艺配方的热处理流程。

3.5 科研实验室与超高真空设备

在科研领域，ABR系列波纹管密封L型角阀凭借无泄漏特性，广泛应用于超高真空腔体。NW25紧凑型波纹管阀采用金属波纹管全隔离密封结构，在有限体积内实现极低泄漏率，广泛应用于科研仪器、光学镀膜及半导体检测设备。GR手动闸阀则常用于无气源工况的旁路和检修隔断。

3.6 光伏设备

在光伏电池制造过程中，PVD溅射和CVD沉积等工艺同样依赖高精度真空控制。MIYUKI的真空阀门与压力控制器已成为光伏设备的标配部件。

四、定制服务与选型建议

4.1 原装可定制服务

玉崎科学仪器作为MIYUKI中国区域战略合作伙伴，提供以下原装可定制服务：

• 法兰定制：支持JIS、ISO、KF（NW）、CF等多种法兰标准

• 口径定制：覆盖25A至400A全口径

• 密封材质定制：标准FKM氟橡胶，可选FFKM全氟醚密封圈以适配高温及腐蚀性工艺气体

• 半导体定制款：特殊法兰、大口径及半导体专用型号支持日本原厂订货

• 系统级配套：可提供阀门+控制器的整套方案，支持设备配套批量采购

4.2 选型快速参考

五、结语

MIYUKI美幸辉凭借数十年真空阀门与压力控制技术的深厚积淀，以超低泄漏、高洁净、精密可控、超长耐用的优良品质，在全球高阶制造领域赢得了广泛认可。在中国市场，B系列气动蝶阀、GAR系列伺服蝶阀、MGCS系列压力控制器等主力型号，已成为半导体、光学镀膜、锂电新能源、光伏及科研真空设备的标配选择。

玉崎科学仪器提供的原厂进口、可定制化服务，为中国用户搭建了从选型、采购到技术支持的完整通道。无论是标准型号的现货供应，还是特殊法兰、大口径及半导体定制款的原厂订货，均可提供报关单、原厂检测报告等完整的品质保障文件。在真空控制领域持续追求精密与可靠的路上，MIYUKI美幸辉与玉崎科学的组合，正为中国高阶制造业提供着值得信赖的日系精工方案。