摘要
DBHP系列是韩国东方机械（DONGBANG PLANTECH）面向高负压应用场景开发的干式螺杆负压泵产品线。该系列基于三十余年负压技术积累，采用差别化单螺距螺杆设计实现高负压性能。DBHP系列既可独立作为高负压装置使用，也可作为涡轮分子泵、低温泵等高负压系统的辅助泵（backing pump）。本文从产品定位、技术架构、核心特点、产品型谱及应用领域五个维度，对该系列产品进行系统分析。研究表明，DBHP系列以“简化设计—单螺距螺杆—特氟龙涂层—IEC法兰"四位一体的技术架构，在半导体制造、显示屏生产、二次电池等高阶制造领域形成了差异化的竞争力，为高负压系统的构建提供了洁净、高效、可靠的干式解决方案。
关键词：DBHP系列；干式螺杆负压泵；高负压；辅助泵；半导体制造
一、引言
在高负压技术领域，涡轮分子泵、低温泵等主泵虽能实现高的负压度（可达10⁻⁷ Pa甚至更高），但其自身不具备从大气压直接抽气的能力，必须依赖辅助泵将其排气口压力降至可工作范围。传统上辅助泵多采用油封式旋片泵或罗茨泵，但油蒸气的回流污染问题始终是高负压系统洁净度的隐患。随着半导体、显示屏、二次电池等高阶制造业对负压环境洁净度要求的不断提升，开发能够替代油封泵的干式辅助泵成为行业的重要技术方向。
韩国东方机械（DONGBANG PLANTECH）成立于1978年，总部位于韩国庆尚北道庆山市，是一家以钢铁设备及工业机械生产为起点、逐步发展为干式负压泵专业制造商的中型企业。公司秉承“和谐、诚信、创新"的经营理念，持续投入研发与技术创新。早在1998年，东方机械便独立开发了干式负压泵系统，并获得了螺旋负压泵水冷式冷却装置、螺旋负压泵冷却机构及多级式螺旋等核心。公司先后获得CE和TUV认证，产品在半导体、电器电子、精密化学、制药、合成树脂挤出等工业领域均获得好评。自2005年起，东方机械连续12年被韩国浦项制铁（POSCO）评为“荣誉合作伙伴"（PHP）供应商。
DBHP系列正是东方机械面向高负压应用需求推出的干式螺杆负压泵产品线，凝聚了公司三十余年的技术积累。
二、产品定位与技术架构
2.1 产品定位：高负压与辅助泵的双重角色
DBHP系列在产品定位上具有双重属性。一方面，作为独立负压装置，它能够在单装置应用中直接提供高负压环境；另一方面，它可以执行涡轮分子泵、低温泵及其他高负压系统的辅助泵功能。
这一双重定位源于DBHP系列在高负压领域的性能优势。常规干式螺杆负压泵的极限负压度通常在10⁻¹~10⁻² Torr量级，而DBHP系列通过差别化的螺杆设计进一步提升了抽气能力，能够在更高负压度下稳定运行。在高负压系统中，涡轮分子泵需要入口压力通常低于10⁻¹ Torr才能正常工作，DBHP系列凭借其高负压性能能够满足这一要求，同时避免了油封式辅助泵带来的油蒸气污染问题。
2.2 技术架构：差别化螺杆设计的核心逻辑
DBHP系列的核心技术在于“差别化的螺杆设计"。这一差别化主要体现在与东方机械其他产品线的差异化定位上：
DBP系列：采用螺杆内部直接冷却技术，面向常规工业应用；
DBVP系列：采用变螺距螺杆设计，面向能效与温度控制优化；
DBHP系列：采用优化的单螺距螺杆设计，面向高负压需求。
DBHP系列选择单螺距螺杆而非变螺距设计，是基于高负压应用的特殊考量。变螺距设计虽有利于降低排气温度和能耗，但在高负压区域，单螺距螺杆的几何压缩比更为稳定，抽气效率更高。这种“差别化"的设计思路，使DBHP系列在东方机械的产品矩阵中形成了清晰的技术定位——以高负压性能为优先考量。
三、核心技术特点
3.1 简化设计：小型经济化与便携性
DBHP系列采用简化设计理念，实现了产品的小型经济化。泵体以封闭的箱子封装，在室内也可使用，降低了对安装环境的要求。较短的气体排出路径和优化的排气量设计，减少了气体在泵腔内的停留时间，有利于高负压的快速建立。产品以便携型移动便利为设计目标，安装和分离操作简单。
3.2 简单内部结构：非接触驱动与长寿命
DBHP系列的内部结构以简化为核心设计原则。外壳与螺杆采用非接触驱动方式，消除了接触磨损，显著延长了使用寿命。内部结构的简化还带来了以下优势：
3.3 特种特氟龙涂层：耐腐蚀性的核心保障
针对半导体、化工等行业中腐蚀性气体的挑战，DBHP系列采用了耐腐蚀性最好特殊特氟龙（Teflon）涂层。该涂层对毒性气体、腐蚀性气体及凝缩性气体具有良好的耐受性。在半导体产业的CVD（化学气相沉积）、干法蚀刻等工艺中，工艺气体往往含有Cl₂、HCl、HF等腐蚀性成分，特氟龙涂层的应用有效保护了泵体内部关键部件，延长了设备在腐蚀性工况下的使用寿命。
3.4 干式单螺距螺杆：无油无水的洁净运行
DBHP系列采用干式单螺距螺杆设计，这是其区别于DBVP变螺距系列的关键技术特征。
无油、无水的洁净运行：螺杆负压泵腔内不需要油或水来形成密封油膜，因此不会对系统和环境造成污染。这一特性在半导体、显示屏等对洁净度要求高的行业中尤为关键。
无废水处理成本：由于无需使用油或水，也就没有污水及废水处理费用，是一种绿色泵。
全压力范围连续运行：螺杆的机械性回转形成负压，在所有压力范围都可连续运行。从高负压到低负压，没有根据负压度变化的消耗动力变化。
3.5 IEC法兰：安装便利性的提升
DBHP系列采用IEC法兰，增大了顾客便利性。在泵的安装和移动过程中，不需要对轴进行校中，安装简单。这一设计降低了设备安装的技术门槛和工时成本。在后续的产品迭代中，电机连接部进一步改善为IEC法兰类型。
四、产品型谱与技术参数
4.1 产品型谱
DBHP系列已形成覆盖不同抽速需求的完整产品线。早期型号包括DBHP100、DBHP200、DBHP300、DBHP600、DBHP1200等。随着产品迭代升级，目前产品型谱已扩展为：
DBHP系列通过从小容量到超大容量的完整产品线构成，能够满足从实验室研发到大规模工业生产的多元需求。
4.2 技术参数
根据相关技术资料，DBHP系列干式螺杆负压泵的抽速范围为95～1050 m³/h，极限负压度可达0.066～0.266 mbar。具体技术参数因型号不同而有所差异。
五、应用领域
DBHP系列的应用覆盖了多个高阶制造领域。
5.1 半导体产业
DBHP系列在半导体产业的应用涵盖CAD（计算机辅助设计）、腐蚀（蚀刻）、薄膜喷镀、负压喷镀等工艺。在晶圆制造过程中，CVD、PVD（物理气相沉积）、干法蚀刻、离子注入等关键工艺均需要高负压环境。DBHP系列既可作为独立负压源直接应用于单装置工艺腔体，也可作为涡轮分子泵的辅助泵，构建组合式高负压系统。
5.2 显示屏与宇宙航空
在显示屏制造领域，DBHP系列应用于LCD、PDP、OLED、AMOLED等显示技术的生产过程中。这些工艺往往涉及蒸镀、溅射等负压镀膜环节，对负压环境的洁净度和稳定性要求高。DBHP系列的干式无油运行模式，避免了油蒸气对显示屏产品质量的影响。在宇宙航空领域，产品应用于ION注入、METAL LINE（金属导线）等工艺。
5.3 电气电子与二次电池
DBHP系列在电气电子行业应用于3D GLASS（三维玻璃）、植牙、素材等离子体等工艺。在二次电池（锂离子电池）产业，产品应用于锂电池原料生产和乙烯基复合产业。此外，在太阳光产业（光伏）中也有应用。
5.4 国际客户认可
东方机械的负压泵产品已获得国内外众多企业的认可。在韩国国内，主要客户包括浦项制铁（POSCO）、LG化学、现代重工、SKC、可隆、乐天化学、SK化学等。在国际市场，产品已供应至日本的新日铁、川崎重工、SPCO，以及美国的AK STEEL、欧洲的VOEST ALPINE等先进企业。
六、结论与展望
DBHP系列是韩国东方机械干式螺杆负压泵产品矩阵中的重要组成部分，其技术定位清晰——以差别化的单螺距螺杆设计实现高负压性能，既可作为独立高负压装置使用，也可作为涡轮分子泵、低温泵等高负压系统的辅助泵。
从技术架构来看，DBHP系列通过“简化设计—单螺距螺杆—特氟龙涂层—IEC法兰"四位一体的设计理念，在保证高负压性能的同时，兼顾了产品的经济性、可靠性和环境适应性。简化设计降低了制造与维护成本，单螺距螺杆实现了无油无水的洁净运行，特氟龙涂层拓展了腐蚀性工况的适用性，IEC法兰提升了安装便利性。
从产品型谱来看，DBHP系列从DBHP120到DBHP70K的完整产品线，覆盖了从小容量实验室应用到超大容量工业生产的广泛需求。从应用领域来看，半导体、显示屏、二次电池等高阶制造领域对高负压、无油污染的严苛要求，正是DBHP系列的核心竞争力所在。
2024年，韩国东方机械在天津东疆综保区投资设立东方机械工程技术（天津）有限责任公司，将螺杆负压泵技术引进中国，弥补国内相关技术领域的空白。这一布局标志着该公司正在加速全球化进程与技术成果的本地化转化。
展望未来，随着半导体制程的持续微缩、OLED/AMOLED等新型显示技术的迭代升级以及新能源产业的快速发展，高负压干式负压泵的市场需求将持续增长。DBHP系列所代表的“干式化、高负压化、辅助泵一体化"技术路线，将为高阶制造领域的高负压系统构建提供重要支撑。
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更新时间：2026-09-09 
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