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更新时间:2026-09-18
浏览次数:49玉崎科学新品到货!!Miyuki美幸辉B系列B-N100气动蝶阀!!!
玉崎科学新品到货!!Miyuki美幸辉B系列B-N100气动蝶阀!!!
导语:
2026年9月18日,深圳——玉崎科学仪器(深圳)有限公司今日宣布,近期我司新推出了Miyuki美幸辉B系列B-N100气动蝶阀。该产品采用齿条齿轮驱动两位式真空隔断结构,配备KF/NW快拆卡箍法兰,通径100A,漏率低至1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下,具备超薄阀体、高流导、无安装姿态限制等特点,可广泛应用于半导体刻蚀与PVD设备隔离、光学镀膜主抽管路、锂电真空干燥、真空热处理炉及科研实验室高真空系统等场景,助力企业实现真空管路可靠通断与洁净工艺的双重升级。
正文:
一、直击行业痛点:真空通断“漏率高、流阻大、维护烦"
长期以来,半导体、光学镀膜、新能源及科研等行业在真空管路通断环节面临三重困境:
痛点一:漏率高,真空保持难。 半导体刻蚀、PVD等工艺对腔体真空度要求高,传统蝶阀密封结构在频繁启闭后易出现泄漏,影响工艺良率和设备稳定性。
痛点二:流阻大,抽气周期长。 大通径管路上普通阀门的阀板厚度大、流道缩颈明显,导致气体传导性能下降,抽真空时间延长,影响设备节拍。
痛点三:拆装不便,维护成本高。 湿法制程、腐蚀性气体等工况下阀门需频繁拆检清洗,传统法兰连接拆装繁琐,停机时间长,维护成本居高不下。
随着半导体线宽持续缩小、镀膜工艺对颗粒管控日益严格、锂电制造节拍不断加快,行业亟需一款低漏率、高流导、快拆维护的气动真空切断阀。
二、B-N100三大核心技术,重新定义气动真空蝶阀标准
玉崎科学仪器此次引荐的Miyuki美幸辉B-N100,基于美幸辉自1967年创立以来在真空阀门领域的深厚技术积累,实现了三大核心突破:
核心技术一:齿条齿轮驱动与双重密封——低漏率、高可靠。 B-N100采用齿条齿轮式气动执行机构,气缸虽小但开启推力加倍,行程末端自带气垫缓冲,启闭平稳无剧烈撞击,标准寿命≥100万次。密封结构采用SUS304气体接触部件,配备FKM氟橡胶双重O型圈密封(阀板密封+阀杆轴封),漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s,轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足氦质谱检漏级标准,适配10⁵Pa常压至10⁻⁵Pa高真空区间。出厂于无尘室组装,逐台经氦检漏、气密、开关寿命全项检测。
核心技术二:超薄阀体与高流导——大通径下的气体传导优势。 B-N100采用SUS304不锈钢精密加工阀体,内腔经镜面电解抛光处理以降低放气率与颗粒析出。阀板为超薄型设计,流阻极小、全开近似直管,在同口径真空阀中拥有高气体传导性能,可大幅缩短大容量腔体的抽真空与充气节拍。相较于同规格其他真空阀门,B-N100在大通径下流通能力优异,结构轻薄紧凑,节省设备内部安装空间。
核心技术三:KF快拆法兰与全姿态安装——灵活适配、维护便捷。 B-N100的“N"专属代表KF/NW快拆卡箍法兰,接口标配KF100/NW100快拆卡箍,便于频繁拆卸清洗、更换密封与维护,兼容ISO100/JIS100转换。安装位置与方向不受限制,水平、垂直、倒置均可安装。标配全开、全闭微动位置检测开关(NPN/PNP可选),可直连PLC实现自动化状态监控与联锁,支持DC24V两位五通电磁阀远程联控。
三、八大行业应用,全面覆盖真空管路场景
Miyuki美幸辉B-N100的应用范围广泛,覆盖以下八大核心领域:
半导体行业: 刻蚀、PVD设备真空泵前端隔离阀,工艺腔体抽气支路通断,晶圆预处理腔体真空管路开关与泵组隔离。
光学与光伏镀膜: 蒸镀、溅射镀膜设备主抽与旁路隔离阀,卷对卷大面积镀膜产线大通量管路通断隔离。
新能源行业: 锂电极片真空干燥、真空注液设备负压管路开关隔断,电池材料真空热处理炉管路隔离。
真空热处理: 扩散炉、真空退火炉、真空烧结炉工艺管路通断。
石油化工: 化工防腐真空总管、湿法制程排气系统通断隔离。
科研实验室: 各类高真空实验腔体、电子束设备真空回路切换与管路隔离,真空泵测试平台、氦检漏工装管路切断。
新材料与真空炉: 弱腐蚀性气体负压管路通断,强腐蚀工况可选用全氟醚(FFKM/Kalrez)密封版本,耐受强酸、卤素、氨等腐蚀环境。
自动化产线: 真空管路快速通断隔断、腔体泄压保护,适配设备常态化高频启停工况。
四、客户价值:合规、降本、提效三位一体
洁净有保障: SUS304不锈钢精密加工,内腔镜面电解抛光,无尘室组装,低析出、低颗粒,满足半导体与镀膜工艺的洁净度管控要求。
运维成本低: KF快拆卡箍设计便于频繁拆卸清洗与密封更换,大幅缩短停机维护时间;齿轮齿条传动结构减少了金属滑动摩擦碎屑产生,低发尘特性延长了维护周期。
效率大提升: 超薄阀体设计带来同口径下最高的气体传导性能,全开近似直管,有效缩短抽气周期;启闭响应迅速,适配自动化产线高节拍运行。
合规与适配: 支持JIS、ISO、KF(NW)、CF等多种法兰标准,可选配全氟醚密封组件应对强腐蚀工况,满足不同工艺环境的合规要求。
玉崎科学仪器(深圳)有限公司是日本MIYUKI美幸辉在中国地区的原装现货供应渠道,深耕科学仪器与实验室设备领域多年,专业供应美幸辉B系列气动真空蝶阀、BAR/GAR系列控制蝶阀、MS-VP压力控制控制器等全系列产品。公司拥有专业技术支持团队,可为客户提供从选型咨询、安装调试到售后维护的全流程服务。