工厂专用代理ULVAC爱发科 MS600A 螺杆型干泵
工厂专用代理ULVAC爱发科螺杆型干泵

Name: 工厂专用代理ULVAC爱发科螺杆型干泵MS600A
Brand: ULVAC/日本爱发科
Price: 35000 CNY
Availability: InStock

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产品详情

工厂专用代理ULVAC爱发科螺杆型干泵

"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus
标准附属品		Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件		Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM
外部选配件		Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve