华南代理ULVAC爱发科 GR90A 多级罗茨型干泵
华南代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

华南代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

华南代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

爱发科 (ULVAC) Model: GR是一款以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的多级罗茨型干式真空泵。它被明确定位为“面向一般产业设计的简单结构的泵"，这意味着它的应用范围广泛，不局限于某个特定窄众行业。

其主要应用领域可以归纳为以下几个类别：

💨 核心应用领域

• 洁净气体排气：主要用于抽取空气、惰性气体等洁净气体。

• 真空镀膜设备：用于各种成膜设备（如PVD、CVD等）的装卸腔室（Load Lock）排气，能有效提高设备吞吐量。有资料明确指出其在PVD（物理气相沉积）工艺中是优化泵选择的。

• 一般工业应用：

• 真空干燥

• 真空气体置换与真空脱泡（脱气）

• 真空热隔绝与气体填充

🎯 典型行业与场景

综合以上应用，Model: GR活跃于以下典型行业和场景：

• FPD（平板显示器）、电子及半导体行业：用于需要清洁真空环境，以提高产能和设备维护性的环节。

• 一般制造业：用于各种需要真空环境的工业流程，如热处理、包装等。

• 锂电池制造：可用于其真空排气系统，如电极干燥、脱气、注液等设备。

• 医疗及食品相关设备：用于冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

💎 优势

Model: GR的核心优势在于其结构简单、皮实耐用，并且能够胜任从大气压到真空反复抽气的高负荷工作场景。因此，它并非为某个单一行业设计，而是一款在半导体、FPD、锂电池、医疗、食品、一般工业等多个领域都有广泛应用的通用型干式真空泵。

规格

*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。

配件

型号		材质	表面处理	重量(kg)	法兰接口	GR60A	GR90A	GR180A
消音器	RS-01+ 套件A	SUS304	GBB处理	4.1	KF40	〇	〇	-
	RS-01+ 套件C	SUS304	GBB处理	8.3	KF40	-	-	〇

排气速度曲线

尺寸图