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海外代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

海外代理ULVAC爱发科 RDA-501H 多级罗茨型干泵
海外代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

产品型号：RDA-501H
厂商性质：代理商
更新时间：2026-07-18
访问量：57

联系电话：135-3775-9898

海外代理ULVAC爱发科多级罗茨型干泵RDA-501H

爱发科（ULVAC）Model RDA-501H是一款多级罗茨型干式真空泵。其核心原理是通过泵体内两个具有三叶截面的平行转子进行同步反向旋转。转子与泵壳之间保持极小间隙，利用转子旋转产生的容积变化来吸入、压缩并排出气体。

作为干式泵，其泵腔内无油，避免了油蒸汽返流污染，可获得清洁真空。它采用多级结构，能从大气压一直工作到极限压力。泵体带有内置恒温器，可通过加热平衡泵体温度，使其特别适用于PVD等对真空度和工艺稳定性要求高的制程。

主要特点与优势包括：

性能出色：有效排气速度达500 L/min，极限压力可达8.0×10⁻² Pa。
清洁耐用：无油运行，且无滑动部件，寿命长。
适应性强：耐水蒸气能力强（最大300g/h），无需冷却水，支持单相/三相电源。
应用广泛：常用于镀膜设备、分析仪器、半导体制造工艺及作为涡轮分子泵的前级泵等
规格

有效排气速度		L/min	500
极限压力：F.A开时（F.A关时）^※		Pa	≦8.0×10^-2（≦6.0）
使用电动机			720W + 10W DC Motor
电源电压	单相	V	100～115/200～240
	三相		200～240
全负荷电流	单相	A	10/5　（100～115V/200～240V）
	三相		5　（200～240V）
重量		kg	38
吸气口径			KF-25
排气口径			KF-25
使用环境温度范围		℃	5 ～ 40
最大水分吸引量		g/h	≦300
最大尺寸		mm	180（W）×520（L）×377（H）　RDA-501H
			180（W）×588（L）×377（H）　RDA-501HA

※：F.A＝Flush. Air

对应标准/电压

型号	认证标准	CE自我宣言	1Φ100～115V	1Φ200～240V	3Φ200～240V
RDA-501H	－	－	●
RDA-501HA	cTUVus	●	●

●：标准、○：可选对应、－：对应不可

使用上的注意

1　粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。

2　吸入有害气体如爆炸性气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

3　仅供室内使用
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。

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