进口代理过滤器ULVAC爱发科 SGT-100 涡旋式干泵
进口代理过滤器ULVAC爱发科涡旋式干泵

进口代理过滤器ULVAC爱发科涡旋式干泵SGT-100

进口代理过滤器ULVAC爱发科涡旋式干泵SGT-100

爱发科SGT-100涡旋式干式真空泵的进气和排气过滤器，是确保泵体长期稳定运行的核心净化组件。其过滤介质采用高性能离子交换树脂纤维，该材料兼具物理拦截与化学吸附双重功能：既能高效捕集工艺气体中的粉尘、反应副产物及微量油雾，又能通过离子交换反应中和排气中的腐蚀性酸性气体（如HF、HCl、SO₂），有效避免污染物对泵腔精密涡旋盘的磨损以及对大气环境的排放污染。

在结构设计上，过滤器提供进气侧（真空侧）和排气侧两种安装选型，滤芯采用可更换式模块，便于日常维护。进气过滤器着重拦截颗粒物，保护涡旋盘免受划伤；排气过滤器则侧重于尾气净化和酸气中和，确保排放符合环保标准。该系列过滤器具有低流阻特性，对泵的抽速影响极小，同时过滤精度高，可显著延长泵油（若适用）和泵体的维护周期，降低综合运行成本。

该过滤器广泛适用于半导体刻蚀、LCD制造、光伏电池、锂电池生产及真空镀膜等对洁净度要求严苛的工艺环节。根据实际工况，建议定期监测滤芯前后压差，当压差超出规定值时及时更换，以维持泵的最佳性能与可靠性。

特   征

该过滤器适用于各种真空系统中使用的真空泵。

它可以安装在真空侧或排气侧。

装置排出的反应产物和粉末被由离子交换树脂纤维制成的元件吸附和收集。

它不仅可以有效捕集废气中的粉末，还可以有效捕集酸性气体和油雾。

该系统有助于长时间保持真空泵及其润滑油的清洁，从而降低真空泵故障和换油的可能性。

安装需要额外的组件，例如KF夹具、减速器和定心环(请另行咨询)。

规格