晶圆半导体SEN日森 PL5-908P 批量光学表面处理设备
晶圆半导体SEN日森批量光学表面处理设备

整机核心规格

1. 有效照射面积：400mm × 400mm（同系列常压机型最大台面）

2. 光源配置：内置 5 根原装 PL5-908P 双波段 UV 清洗灯

3. 驱动电源：标配5 台 SSP-48 安定器，单灯独立控制

4. 腔体结构：上掀开盖 + 滑动遮光快门结构

• 快门式遮光，无需停机即可取放工件，连续批量加工

• 门联锁安全保护，开盖自动切断 UV 光源

5. 排风系统：内置强力臭氧排风，及时排出臭氧，保护工件与人员

6. 控制系统：数显定时，可单独设定照射时长、循环模式，支持对接 PLC 自动化

7. 适用环境：无尘车间、光学 / 半导体量产线，常压干式清洗，无需真空机组

PL5-908P 原装灯管参数（整机标配耗材）

• 波段：185nm（臭氧氧化）+254nm（断键清洗）双波段透臭氧石英管

• 功率：90W / 支

• 发光长度：800mm，总长 908mm（型号数字由来 908）

• 灯头：陶瓷双端接头，插拔式快速更换

• 标准寿命：5000 小时，光衰低，大面积照射均匀无暗区

• 适配：仅 PL5-908P 设备专用，不可混用 PL1-1107A 灯管（长度、功率不匹配）

清洗原理与功能

1. 185nm 紫外电离空气生成臭氧，强氧化分解指纹、油污、脱模剂、光刻胶残渍、有机微粒

2. 254nm 短波紫外直接打断有机物分子化学键，纳米级干式除污

3. 同步表面活化：降低水接触角，大幅提升粘接、点胶、镀膜、印刷附着力

适用工件与行业

• 显示：LCD/ITO 大尺寸玻璃、光学基板、薄膜基材

• 光学：大尺寸镜头、棱镜、石英镀膜片、红外镜片

• 半导体：中大尺寸载板、陶瓷基板、硅片预处理

• 精密塑胶 / 医疗：大型塑胶外壳、高分子医疗器械粘接前活化

• 电镀 / 喷涂：大面积板材前处理