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产品型号:TOC-1000e S
厂商性质:代理商
更新时间:2026-08-18
访 问 量:134
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联系电话:158-1555-0998
日本代理SHIMADZU岛津超纯水在线TOC分析仪
日本代理SHIMADZU岛津超纯水在线TOC分析仪
在半导体制造工艺中,即便是极微量的污染物也会影响产品质量。近年来,随着半导体制程越来越精密,线宽越来越小,微量有机污染已成为导致产品良率下降的严峻问题。因此,对制造工艺中使用的清洗水(超纯水)所含杂质(有机物)的管理至关重要。
岛津这款在线 TOC 分析仪,充分倾听*半导体器件制造商的需求,融合岛津在 TOC 分析仪领域 50 余年积累的技术与经验,专为超纯水监测研发而成,能够实现浓度低于1ppb场景下的TOC稳定测量,满足半导体市场的需求。
测量范围:0~500 μg/L
检出限:0.02 μg/L
外形尺寸:W270 × H180 × D140mm
质量:约3.0 kg
数据传输形式:4-20mA输出、 USB存储器
LAN(文件传输、Web) 、Modbus
本产品践行环保理念,有机氧化分解所采用的紫外灯(UV Lamp)并未使用常规水银灯,而是搭载准分子灯,且灯管结构采用 "Active-Path" 光路构型,通过无汞准分子灯发出高能短波长光线照射样品,能够精准检测尿素等常规检测中难以捕捉的难降解有机物。
尽早发现超纯水中的杂质,是预防半导体部件出现不良品的关键。
TOC-1000e S 的测定流路采用准分子灯与电导率仪串联连接的简洁结构,通过持续将设备接入的部分样品水送入测定流路进行检测的机制,能够实时捕捉突发的杂质混入情况。
产品重量与尺寸设计紧凑,便于携带至任意测量点。除桌面摆放使用外,通过选配安装支架,还可实现壁装或管道安装。设备正面的彩色显示屏尺寸宽大、可视性强。