CVD制造EBARA荏原 EV-M805SF 干式真空泵
CVD制造EBARA荏原干式真空泵

CVD制造EBARA荏原干式真空泵

CVD制造EBARA荏原干式真空泵

荏原 （EBARA） 高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。

1. 半导体与电子行业

• 晶圆制造：用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀、离子注入等工艺，需高真空环境且避免油污污染晶圆。

• 封装测试：在芯片封装过程中提供真空环境，确保封装密封性。

2. 平板显示行业

• OLED/LCD 制造：用于沉积有机材料、溅射金属电极等工艺，要求无油真空环境以保证显示面板的纯净度。

3. 光伏行业

• 太阳能电池生产：在 PECVD（等离子增强化学气相沉积）、扩散炉等设备中提供真空，助力高效电池制造。

4. 化工与制药行业

• 蒸馏与干燥：用于溶剂回收、真空干燥等工艺，避免腐蚀性气体对泵体的损害。

• 原料药生产：在真空环境下进行结晶、分离等操作，满足医药行业的高洁净要求。

5. 食品与饮料行业

• 真空包装：通过抽真空延长食品保质期，干式泵可避免油污污染食品。

• 浓缩与冻干：在真空浓缩果汁、冷冻干燥药品等工艺中发挥作用。

6. 科研与分析仪器

• 质谱仪：提供高真空环境，确保离子在无干扰的情况下到达检测器。

• 电子显微镜：维持样品室的高真空，保障成像质量。

7. 汽车与机械制造

• 真空热处理：在汽车零部件的淬火、退火等工艺中，防止氧化并提高材料性能。

• 真空成型：用于塑料部件的真空吸塑成型。

8. 电力与能源行业

• 变压器真空浸渍：去除变压器油中的水分和气体，提高绝缘性能。

• 核工业：在核反应堆的冷却系统、气体回收等环节提供真空支持。

9. 环境工程

• 真空过滤：处理工业废水、污泥脱水等，高效分离固液成分。

• VOCs 回收：从工业废气中回收挥发性有机化合物，实现环保与资源再利用。