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玉崎科学代理EBARA荏原干式真空泵

玉崎科学代理EBARA荏原 EV-S200P/N 干式真空泵
玉崎科学代理EBARA荏原干式真空泵

  • 产品型号:EV-S200P/N
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-08-20
  • 访  问  量:87
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玉崎科学代理EBARA荏原干式真空泵

玉崎科学代理EBARA荏原干式真空泵


优秀的转子设计和怠速功能实现了高水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。

🎯 产品特点

  1. 节能设计:变频调速 + 怠速休眠模式,同级别低能耗,50/60Hz 抽速不变

  2. 无油干式:工艺气体不接触润滑油脂,无碳氢污染,适配半导体洁净工艺

  3. 防腐可选:P 用于稀释水汽 / 反应副产物;N 镍合金流道应对轻度腐蚀性气体

  4. 水冷恒温,支持 7×24 小时连续量产运行

  5. 紧凑型占地,自带运行时长、泵体温度、冷却水、氮气流量监测与故障存储上海荏原精...

🏭 典型应用场景

  • 半导体:Load Lock、蚀刻、CVD、ALD 腐蚀性工艺排气

  • 光伏、LED 真空制程

  • 光学真空镀膜、磁控溅射

  • 新材料、锂电池脱气、真空热处理

  • 科研真空、分析设备高真空粗抽系统EBARA

⚠️ 配套公用需求(选型重点)

  1. 冷却水:压差≥0.2 MPa,供水压力≤0.4 MPa

  2. 氮气(P/N 型):供气 0.15–0.7 MPa,设定压力 0.09–0.12 MPa

  3. 排风:配套排风管道,通风风量约 0.5 m³/min

我司代理及优势品牌一览明细:

代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽

优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪,离心机等


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