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产品型号:CRYO-U4H
厂商性质:代理商
更新时间:2026-09-16
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晶圆金属溅射应用ULVAC爱发科低温泵
晶圆金属溅射应用ULVAC爱发科低温泵
低温泵是一种储气罐式真空泵,可实现从高真空到超高真空的各种真空状态。这种泵通过将气体冷凝并吸附在内部安装的低温表面上来高效捕获气体。低温泵最大的优势在于能够提供无油污染的洁净真空环境。
此外,尽管采用吸附方式,但与其他真空泵相比,低温泵的抽速极快。因此,低温泵被广泛应用于需要洁净高效真空环境的各个行业和研究领域。
在考虑引进低温泵时,其高性能和提供洁净真空环境的能力是重要的优势。
4 型低温泵可提供最佳的排气性能。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
它特别适用于半导体制造设备中的溅射工艺和小型设备。
一台压缩机最多可以驱动四台泵。
我们可以根据您的具体需求设计和制造产品。
| 排气速度(20℃) | 氮 | 升/秒 | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩气 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到达圧力 | 出色地 | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩气 | 帕·升/秒 | 1.3× 10³ |
| 排气容量 | 氩气 | 苍白 | 1.0× 10⁷ |
| 氢 | 1.5× 10⁵ | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 质量 | 公斤 | 14.5 | |
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪,离心机等