真空热处理ULVAC爱发科 CRYO-U16 低温泵
真空热处理ULVAC爱发科低温泵

产品型号：CRYO-U16
厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-16
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真空热处理ULVAC爱发科低温泵

低温泵是一种储气罐式真空泵，可实现从高真空到超高真空的各种真空状态。这种泵通过将气体冷凝并吸附在内部安装的低温表面上来高效捕获气体。低温泵最大的优势在于能够提供无油污染的洁净真空环境。

此外，尽管采用吸附方式，但与其他真空泵相比，低温泵的抽速极快。因此，低温泵被广泛应用于需要洁净高效真空环境的各个行业和研究领域。

在考虑引进低温泵时，其高性能和提供洁净真空环境的能力是重要的优势。

ULVAC Cryo 已广泛应用于电子、光学、太阳能、核聚变和航天开发等各个领域，并积累了丰富的经验。

特征

适用于中大型生产设备。
适用于批量式大规模薄膜沉积系统。
一种耐热的类型。

规格

排气速度（20℃）	氮	升/秒	5,000
	氢		10,000
	氩气		4,200
	水		16,000
到达圧力	帕（托）		10 ^-7 (10 ^-9 )
最大流量	氩气	Pa·L/s(Torr·L/s)	1.4×10³ ⁽ 11.0)
排气容量	氩气	Pa・L(Torr・L)	4.3×10⁸ ^（ 3.3× ^10⁶）
排气容量	氢	Pa・L(Torr・L)	2.4×10⁶ ⁽ 1.8× ^10⁴ )
冷却下降时间（电源循环）	最小值（赫兹）		110/100(50/60)
进气法兰			UVG-400
压缩机组			C30VRT
质量		公斤	61.0