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传感器式ULVAC爱发科皮拉尼真空计

传感器式ULVAC爱发科 SP1 皮拉尼真空计
传感器式ULVAC爱发科皮拉尼真空计

  • 产品型号:SP1
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-17
  • 访  问  量:87
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产品详情

传感器式ULVAC爱发科皮拉尼真空计

传感器式ULVAC爱发科皮拉尼真空计


特征

  • 可降低成本并节省空间的传感器类型。

  • 铂金具有优异的耐腐蚀性,因此被用作灯丝材料。

  • 设定点输出:2 点;检测器输出:直流 0-5V(非线性输出)

  • 电源电压:直流24V输入

用途

  • 用于各种制造设备(包括半导体和电子元件)的低真空范围内的过程控制。

  • 用于各种工业设备(包括熔炉)低真空区域的过程控制。

  • 适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备的低真空工艺控制,例如在线式和单晶圆系统。

类型传感器单元
模型SP1
自适应测量元件WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

测量精度


±15%(51 Pa 至 760 Pa)
±30%(10 Pa 至 1000 Pa)
±50%(0.4 Pa 至 3000 Pa)
工作温度范围10~40℃
采样时间50毫秒,5步移动平均处理

测量输出


非线性输出:直流 0-5V(最大 10V)
(更新时间) 50 ms
(分解能) 10 mV
设定点 1/2 调节输出非线性输出:直流 0-5V(最大 10V)
控制输出电压开放式集线器,负逻辑
错误信号
设定点 1/2
LED表示功率、误差、设定点 1/2
电源电压DC24V±2V,90mA(最大)
输入/输出连接器D-sub-15P(M2.6螺丝)
本体質量190克(不含测量探针)

配件

输入/输出连接器套装(1套)
快速手册(1份)


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