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热阴极电离ULVAC爱发科真空计

热阴极电离ULVAC爱发科真空计
热阴极电离ULVAC爱发科 ST200-A / R / E 真空计

  • 产品型号:ST200-A / R / E
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-17
  • 访  问  量:89
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热阴极电离ULVAC爱发科真空计

热阴极电离ULVAC爱发科真空计


这是新型的传感器式“G-TRAN多离子真空计",可连接不同测量范围的探头。作为一款三极管式电离真空计,该产品灵敏度不易衰减,即使在对真空计而言较为恶劣的环境下,也能长时间进行精确的真空测量。在继承了传统真空计长寿命、低运行成本理念的同时,该产品也进行了改进,使其更加人性化。

    特征

    • 提高了易用性:通过电脑/智能手机连接,可以设置设定点、查看状态等。

    • 耗材寿命通知功能:通过监测耗材的功率,系统可以在耗材即将达到使用寿命终点时提前通知您。

    • 可以连接多个具有不同测量范围的电离层规:使用多电离层规可以针对每个应用选择合适的电离层规。

    • 紧凑:比传统型号小得多(控制器体积减少了 56%),使其成为世界上极小的型号之一。

    • 扩展的产品线:除了模拟输出规范 (ST200-A) 和串行通信规范 (ST200-R) 之外,还增加了 EtherCAT 规范 (ST200-E)。

    • 三极管型金属电离真空计:即使在恶劣环境下,真空计也能实现较长的使用寿命。

    • 宽范围压力测量:能够测量从大气压到高真空(1 × 10⁺⁵至1 × 10⁻⁵ Pa)的压力(当连接可选的 SWU10-R 单元时)。

    • 精确测量大气压力:允许确认腔室打开时的大气压力(当连接可选的 SAU 单元时)。

    用途

    • 用于验证 OLED、触摸面板等制造设备的极限压力和过程控制。

    • 用于验证各种工业真空设备(如真空炉)的极限压力。

    • 适用于高浓度碳氢化合物(油基)环境的测量

    • 在真空零件加工后,切削油或清洗液残留的环境中进行测量。

    • 对于旨在减少真空计探头更换频率的真空设备而言。

    *如果您打算在腐蚀性气体(卤素气体)环境中使用本产品,请咨询我们。

    规格

    模型ST200-AST200-RST200-E
    规格标准规格串行通信规范EtherCAT 规范
    自适应多离子计传感器SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
    可连接传感器多离子压力传感器:1 台;
    皮拉尼真空计 SWU10-R:1 台(可选);
    大气压力传感器 SAU:1 台(可选)
    重复性(N²)ST200独立模式:±2%
    采样时间60毫秒5步移动平均处理
    测量输出输出电压:直流 0-10V;对数输出:0.75V/1 位;
    压力转换公式:V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2);P = 10^
    更新时间60毫秒
    控制输入信号燃油开关,排气开关。采用开路集电极输入,负逻辑控制。--
    控制输出电压传感器误差、设定点 1/2/3、发射验证、
    灯丝功率监控
    。额定值:最大24V ,最大50mA ,饱和电压 1V
    --
    串行通信规范-RS232C/RS-485以太网
    LED表示电源/错误:电源和错误指示灯(闪烁模式随模式而变化)
    发射电流2mA(1×10-2Pa以下), 10μA(1×10-2Pa以上)
    德加斯电子轰击法,发射电流2mA,栅极电压约330V
    传感器电压电阻2 × 10⁻⁵ Pa(绝对压力)* 法兰、夹具等的耐压性必须单独考虑。
    传感器内部容积17cm³ ( SWT-16),19cm³ ( SWT-25)
    工作温度范围10~50℃
    工作湿度范围15-80%(但无冷凝)
    保管温度-20 至 65°C(未通电时无冷凝)
    IP保护等级IP30
    电源电压直流20-28V(纹波和噪声小于1%)
    8W以下
    输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺丝)
    质量控制器:约 280 克;测量探头(SWT-16、SWT-25):80 克
    外部尺寸(宽×深×高)69毫米 x 63毫米 x 90毫米(控制器单元)
    适用标准这
    选项多离子计量传感器SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25)材料
    :灯丝:Ir/Y2O3涂层;其他
    :PtC-Mo、SUS304、W、科瓦玻璃、科瓦/Ni镀层
    皮拉尼压力表SWU10-R *也兼容之前的SPU型号。
    皮拉尼压力传感器SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18(Φ18 管端)、SWP-P15(Φ15 管端)、SWP-CF16 (ICF034)
    材质:丝材 - 铂金,其他 - BS/Ni,电镀,镍,焊料
    大气压力传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
    单元电缆GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m
    GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
    整个单元ISG1(与ST200-R不兼容)
    显示单元线缆ST200-A - ISG1 电缆:2米、5米、10米、15米、20米、25米、30米、35米、40米
    连接器输入/输出连接器(D-sub15 插座(M2.6mm 螺丝))
    其他的检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书






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