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华南代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

华南代理Miyuki美幸辉 BAR-C25 BAR系列控制蝶阀
华南代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

  • 产品型号:BAR-C25
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-30
  • 访  问  量:7
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华南代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

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MIYUKI(美幸辉)BAR系列控制蝶阀是一款通过旋转圆盘形蝶板来控制流体流动的角行程调节阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合使用,构成一套开度指定的压力控制系统。

⚙️ 工作原理

BAR系列蝶阀的核心在于电机直接驱动阀轴,无背隙设计,消除了传动间隙,大幅提升了微开定位的精度与重复性。在系统中,MS-VP控制器通过模拟信号(DC 0~10V或4~20mA) 对阀门开度进行线性控制与精确定位。通过改变阀板的旋转角度,可以连续调节管路中的气体导通电导(流导),从而实现从高真空(10⁻⁵Pa)到正压(10⁵Pa) 全工况的精密压力控制

✨ 核心优势

1.超洁净与低噪音:阀门无金属滑动部件,从源头降低了颗粒物的产生与排放。同时,其开闭和调节过程的噪音极低,非常适用于洁净车间和实验室环境。

2.高精度与高稳定性无背隙直驱技术确保了高度的控制精度。即使在微小开度下,也能实现压力的稳定控制。

3.宽广的工况兼容性:阀体采用SUS304不锈钢材质,密封件为氟橡胶O型圈,可广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏产业及各类科研真空系统的精密压力控制


一、型号释义

BAR-C25
  • BAR:伺服直驱连续可调真空控制蝶阀(标准版无断电刹车

  • C:CF Conflat 刀口金属法兰(超高真空法兰)

  • 25:公称通径 25A(CF25)

    衍生型号:BAR-C25-K = Kalrez(FFKM)全氟醚高温耐腐蚀密封款

二、详细技术规格

  1. 接口标准

    法兰:CF25 刀口法兰,无氧铜垫片金属密封,可高温烘烤,适配超高真空系统。

  2. 压力适用范围

    常压\(10^5\ \text\) ~ 超高真空 \(\boldsymbol\ \text}\),满足 UHV 超高真空工况。

  3. 氦检泄漏指标(超高真空验收标准)

  • 阀片内部密封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

  • 传动轴外部轴封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

  1. 材质配置

    介质接触区域:SUS304 镜面抛光不锈钢(极低放气、低粉尘)

    标准密封:FKM 氟橡胶;升级 -K:Kalrez 全氟醚密封

  2. 温度参数

    阀体可烘烤温度:150℃;BAR-C25-K 最高 200℃

    伺服电机环境温度:≤40℃(电机不可跟随腔体烘烤)

  3. 驱动与控制

    供电:DC24V

    调节行程:0~90° 无级连续开度调节

    结构:伺服电机直驱、无齿轮背隙,微小开度流量线性稳定

    ⚠️关键区分:BAR 标准版断电无自锁,压差可推动阀片;断电需要锁定开度,选用同法兰 GAR-C25B

  4. 信号与配套控制器

    支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯;

    推荐配套:MS-VP(PID 闭环稳压)、MG-mini485(总线通讯控制)

三、产品核心优势

✅ CF 金属刀口密封,能够实现腔体高温烘烤,达到超高真空环境
✅ 小型口径,适合超高真空腔体旁路、气体微调管路安装
✅ 低出气、洁净度高,满足科研精密实验、表面分析设备要求
✅ 开度调节灵敏,微小流量精准调控

四、适用场景

定位:超高真空科研设备旁路、微型腔体精密调压
  1. 表面分析设备(XPS、AES、SEM 配套真空腔体)

  2. 小型超高真空材料生长、分子束外延辅助管路

  3. 实验室超高真空试样处理、电子束微型蒸发装置

  4. 超高真空腔体气体分压调节、缓泄压支路

五、选型建议

  1. 系统要求烘烤、目标超高真空、管路 CF25 法兰 → BAR-C25

  2. 工艺温度>120℃、腐蚀性工艺气体、等离子环境 → BAR-C25-K

  3. 工艺要求断电锁阀,防止大气倒灌、压力失控 → 更换 GAR-C25B

  4. 管路为 JIS/KF/ISO 法兰,对应选型 BAR-J25 / BAR-N25 / BAR-I25


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