中国代理Miyuki美幸辉 GAR-C63B GAR系列控制蝶阀
中国代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

中国代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

中国代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

MIYUKI（美幸辉）GAR系列控制闸阀是一款通过阀板垂直升降来控制流导的精密真空阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合，构成一套完整的压力控制系统。

⚙️ 工作原理

GAR系列的核心在于其闸阀结构与电机直驱技术。系统通过接收模拟信号（DC 0~10V或4~20mA） ，由控制器驱动电机，无背隙地精确控制阀板升降。阀板的直线运动改变了流道的等效截面积，从而实现对气体流导的连续、精密调节。与BAR系列蝶阀相比，其直通式流道在全开时流阻极小，排气效率更高。

✨ 核心优势

• 优秀的断电保护：全系列标配带电磁制动的电机。断电时，阀门能自动锁定在全闭位置或保持当前开度，防止工艺异常。

• 超低泄漏与洁净：采用不锈钢本体和氟橡胶密封，泄漏率极低。内部泄漏量可低至 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，且无金属滑动部件，颗粒排放低。

• 大流量与宽泛适配：排气特性优良，支持 80A 至 400A 的宽广口径范围，工作压力覆盖 10⁵ Pa 至 10⁻⁶ Pa。

GAR系列非常适合半导体、真空镀膜等需要高洁净度、大抽速及断电安全的高真空工艺

一、型号释义

GAR-C63B

⚠️ 核心区分：GAR系列全系标配电磁制动电机，断电瞬间自动锁死当前蝶板开度，防止真空腔体大破真空、工件氧化报废。高阶GAR系列可定制断电全关功能，突发停电自动切断流路，保护昂贵工艺腔体与晶圆。BAR标准版断电无自锁，压差可推动阀片。

二、详细技术规格

接口标准

法兰：CF（ConFlat） 金属密封刀口法兰，全金属密封结构，真空密封性能，适配超高真空与真空系统，可烘烤除气，是半导体、科研级超高真空系统的标准接口。

压力适用范围

常压 10⁵ Pa ～ 超高真空 10⁻⁷ Pa，CF法兰版适配超高真空和高真空环境，粗抽、工艺真空、超高真空全区间适用。

氦检泄漏指标（高真空验收标准）

• 阀片内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

• 传动轴外部轴封泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

材质配置

• 介质接触区域：SUS304 镜面抛光不锈钢（低放气、低粉尘，适配洁净工艺）

• 标准密封：FKM 氟橡胶O型圈

• 轴封：氟橡胶O型圈

温度参数

• 阀体长期耐受：150℃

• CF法兰刀口可耐受更高烘烤温度（适配超高真空除气需求）

• 伺服电机环境温度：≤40℃（电机禁止腔体烘烤）

驱动与控制

• 供电：DC24V

• 调节行程：0～90° 无级连续开度调节

• 结构：伺服电机直驱、无齿轮背隙，微小开度流量线性稳定

⚠️ 关键功能：断电自锁

GAR系列标配电磁抱闸：断电瞬间锁死当前蝶板开度，不会自动全开或全关。高阶GAR系列可定制断电全关功能，突发停电自动切断流路。

信号与配套控制器

• 支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯

• 推荐配套：MS-VP（PID闭环稳压）、MG-mini485（总线通讯控制）、MGCS-11（高精度自动真空压力控制器，控制精度±0.1%设定值）

三、产品核心优势

✅ CF金属密封刀口法兰，真空密封性能，适配超高真空与真空系统，可烘烤除气

✅ 标配断电电磁抱闸，突发停电锁死阀位，防止大气倒灌、真空压力失控

✅ DN63 标准口径，流通能力适中，适配中型超高真空系统主管路

✅ 兼顾抽速与精密调压能力，在全开度范围内保持线性控制特性

✅ 全区间开度线性稳定，大小开度均可精准调控真空压力

✅ 无金属摩擦副，产尘极低，适配镀膜、半导体等洁净制程

✅ 电机直驱无背隙，调压精度行业领航

四、适用场景（GAR-C63B，CF法兰带断电自锁超高真空主力型号）

定位：超高真空系统、半导体设备、科研级超高真空装置主管调压阀，特别适合对真空度要求很高且对断电保护有硬性要求的场景

五、选型建议