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原装代理EBARA荏原节能干式真空泵

原装代理EBARA荏原 EV-S20P/N 节能干式真空泵
原装代理EBARA荏原节能干式真空泵

  • 产品型号：EV-S20P/N
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-19
  • 访  问  量：116
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联系电话：158-1555-0998

产品详情

原装代理EBARA荏原节能干式真空泵

原装代理EBARA荏原节能干式真空泵


优秀的转子设计和怠速功能实现了高水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用，从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。

型单位EV-S20 系列EV-S20P/N 系列EV-S30 系列EV-S30P 系列EV-S50 系列EV-S50P/N 系列EV-S100 系列EV-S100P/NEV-S200 系列EV-S200P/N 系列
冷却水流量升/分钟1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
温度°C最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个最多 30 个
权力电源容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
抽速升/分钟16701670330033005000500010000100002000020000
极限压力帕350.510.50.50.50.50.50.5
连接直径进气口
西北 50西北 50西北 50西北 50西北 50西北 50西北 80西北 80西北 100西北 100
排气口
西北 25西北 25西北 25西北 25西北 25西北 25西北 25西北 25西北 40西北 40
极限压力下的近似功率千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
N2流量帕•m3/秒-17~20 （2.4）-17~20 （2.4）
17~20 （2.4）
17~20 （2.4）
17~20 （2.4）
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz
400V 型号
三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz--三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz
近似质量公斤60609090100






荏原（Ebara）的干式真空泵在多个行业都有广泛应用，以下是一些主要的行业领域及应用场景：

1. 半导体与电子行业

  • 晶圆制造：用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀、离子注入等工艺，需高真空环境且避免油污污染晶圆。

  • 封装测试：在芯片封装过程中提供真空环境，确保封装密封性。

2. 平板显示行业

  • OLED/LCD 制造：用于沉积有机材料、溅射金属电极等工艺，要求无油真空环境以保证显示面板的纯净度。

3. 光伏行业

  • 太阳能电池生产：在 PECVD（等离子增强化学气相沉积）、扩散炉等设备中提供真空，助力高效电池制造。

4. 化工与制药行业

  • 蒸馏与干燥：用于溶剂回收、真空干燥等工艺，避免腐蚀性气体对泵体的损害。

  • 原料药生产：在真空环境下进行结晶、分离等操作，满足医药行业的高洁净要求。

5. 食品与饮料行业

  • 真空包装：通过抽真空延长食品保质期，干式泵可避免油污污染食品。

  • 浓缩与冻干：在真空浓缩果汁、冷冻干燥药品等工艺中发挥作用。

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