离子注入EBARA荏原 EV-X300N 节能干式真空泵
离子注入EBARA荏原节能干式真空泵

离子注入EBARA荏原节能干式真空泵

离子注入EBARA荏原节能干式真空泵

这款用于中等负载工艺的干式真空泵配备了荏原的节能技术，采用了模块化设计，针对自动化工厂的制造进行了优化，以进一步实现小型化和节能。

宽范围温度控制扩展了应用过程。 使用同一台机器覆盖多个过程的能力优化了备用机器库存，降低了维护和培训要求，并为未来的过程扩展提供了灵活性。 此外，每个过程的最佳温度控制提高了工艺阻力，延长组件更换周期有助于减少 TCoO。

适用应用示例：各种蚀刻、CVD、灰化、离子注入、外延生长等。

1. 半导体与电子行业

• 晶圆制造：用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀、离子注入等工艺，需高真空环境且避免油污污染晶圆。

• 封装测试：在芯片封装过程中提供真空环境，确保封装密封性。

2. 平板显示行业

• OLED/LCD 制造：用于沉积有机材料、溅射金属电极等工艺，要求无油真空环境以保证显示面板的纯净度。

3. 光伏行业

• 太阳能电池生产：在 PECVD（等离子增强化学气相沉积）、扩散炉等设备中提供真空，助力高效电池制造。

4. 化工与制药行业

• 蒸馏与干燥：用于溶剂回收、真空干燥等工艺，避免腐蚀性气体对泵体的损害。

• 原料药生产：在真空环境下进行结晶、分离等操作，满足医药行业的高洁净要求。

5. 食品与饮料行业

• 真空包装：通过抽真空延长食品保质期，干式泵可避免油污污染食品。

• 浓缩与冻干：在真空浓缩果汁、冷冻干燥药品等工艺中发挥作用。