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产品型号:SMART
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-27
访 问 量:15
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进口代理OTSUKA大塚电子手持式光学膜厚计
进口代理OTSUKA大塚电子手持式光学膜厚计
便携轻巧:机身尺寸为138×198×61mm,重量约1.1kg,测光头支持270°旋转。
精准高效:测量精度达0.1μm,重复精度0.01μm,1秒即可完成读数。
无损测量:采用反射光谱干涉法,非接触不伤样品,适配特殊形状或曲面。
型号分类:分为标准款(单层膜)与专业款(多层膜测量)。
半导体与电子:检测晶圆涂层、光刻胶等精密元器件。
工业现场:适合户外或生产线快速抽检。
测量项目
膜厚测量范围 | 1μm~50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较
●与桌上型光学膜厚仪相比,Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品,且可以量测特殊形状样品。

与接触式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品,也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。

●与涡电流/电磁式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不需要制作检量线,且可以量测非金属基材并且得到绝对值!

不需要量测经验,可快速得到精准的膜厚结果。
量测原理 | 反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测 |
膜厚量测范围 | 1~50μm(显示上限60μm) |
重复精度 | 2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm) |
量测时间 | 1秒内 |
量测层数 | 1层 |
数据输出 | 附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
量测Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 约1.1kg |