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产品型号:BAR-J80
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-30
访 问 量:18
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中国代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀
中国代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀
MIYUKI(美幸辉)BAR系列控制蝶阀是一款通过旋转圆盘形蝶板来控制流体流动的角行程调节阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合使用,构成一套开度指定的压力控制系统。
BAR系列蝶阀的核心在于电机直接驱动阀轴,无背隙设计,消除了传动间隙,大幅提升了微开定位的精度与重复性。在系统中,MS-VP控制器通过模拟信号(DC 0~10V或4~20mA) 对阀门开度进行线性控制与精确定位。通过改变阀板的旋转角度,可以连续调节管路中的气体导通电导(流导),从而实现从高真空(10⁻⁵Pa)到正压(10⁵Pa) 全工况的精密压力控制。
1.超洁净与低噪音:阀门无金属滑动部件,从源头降低了颗粒物的产生与排放。同时,其开闭和调节过程的噪音极低,非常适用于洁净车间和实验室环境。
2.高精度与高稳定性:无背隙直驱技术确保了高度的控制精度。即使在微小开度下,也能实现压力的稳定控制。
3.宽广的工况兼容性:阀体采用SUS304不锈钢材质,密封件为氟橡胶O型圈,可广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏产业及各类科研真空系统的精密压力控制
BAR:伺服电动连续可调真空控制蝶阀系列(无断电刹车)
J:JIS 日标真空法兰(日系设备原配接口)
80:公称通径 80A(DN80)
衍生型号:BAR-J80-K = Kalrez 全氟醚高温密封款
接口标准
法兰:JIS B2290 真空法兰 80A;螺栓连接,橡胶 O 圈密封
压力适用范围
常压 10⁵ Pa ~ 高真空 10⁻⁵ Pa
泄漏性能(高真空关键)
阀片内部密封泄漏:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
传动轴外部轴封泄漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
材质
过流接触气体部分:SUS304 镜面不锈钢(低放气、低粉尘)
标准密封:FKM 氟橡胶;-K 升级:Kalrez FFKM 全氟醚密封
温度参数
阀体最高耐温:150℃;BAR-J80-K 最高 200℃
伺服电机环境温度:≤40℃(电机不能受热烘烤)
驱动与控制
供电:DC24V
调节行程:0~90° 无级连续开度调节
结构:电机直驱、无齿轮背隙,微小开度流量稳定
⚠️重要特性:标准版 BAR无断电自锁;断电后阀位可被压差推动;需要断电保位选用 GAR-J80
配套控制器
MS-VP(模拟量 PID 稳压)、MG-mini485(通讯控制)
定位:日系设备改造 / 原装配套主流中型口径调压阀
光学真空镀膜(使用最多)
日系蒸镀机、镜头镀膜、装饰膜 PVD 设备;安装在腔体抽气管路,闭环稳压,保证膜层均匀。
半导体、等离子工艺设备
等离子清洗、小型沉积腔体、刻蚀配套真空排气流量调节;日系进口工艺腔体改造优选。
科研中型真空腔体
电子束蒸发、材料脱气、实验室中型高真空实验装置。
锂电 / 光伏真空设备(日系机型)
真空烘烤、小型连续式真空处理腔体压力控制。
管路是日本原装设备(爱发科、新科隆等) → 优先 BAR-J80
工艺温度>120℃、有溶剂腐蚀 → 选 BAR-J80-K
工艺要求断电保持阀门开度、防止大气倒灌 → 更换 GAR-J80
如果管路是 KF 快拆 / ISO 大法兰,对应更换 BAR-N80 / BAR-I80