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产品型号:BAR-J100
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-30
访 问 量:14
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进口代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀
进口代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀
MIYUKI(美幸辉)BAR系列控制蝶阀是一款通过旋转圆盘形蝶板来控制流体流动的角行程调节阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合使用,构成一套开度指定的压力控制系统。
BAR系列蝶阀的核心在于电机直接驱动阀轴,无背隙设计,消除了传动间隙,大幅提升了微开定位的精度与重复性。在系统中,MS-VP控制器通过模拟信号(DC 0~10V或4~20mA) 对阀门开度进行线性控制与精确定位。通过改变阀板的旋转角度,可以连续调节管路中的气体导通电导(流导),从而实现从高真空(10⁻⁵Pa)到正压(10⁵Pa) 全工况的精密压力控制。
1.超洁净与低噪音:阀门无金属滑动部件,从源头降低了颗粒物的产生与排放。同时,其开闭和调节过程的噪音极低,非常适用于洁净车间和实验室环境。
2.高精度与高稳定性:无背隙直驱技术确保了高度的控制精度。即使在微小开度下,也能实现压力的稳定控制。
3.宽广的工况兼容性:阀体采用SUS304不锈钢材质,密封件为氟橡胶O型圈,可广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏产业及各类科研真空系统的精密压力控制
BAR:伺服直驱连续可调真空控制蝶阀(标准版无断电刹车)
J:JIS B2290 日标真空法兰
100:公称通径 100A(DN100)
衍生型号:BAR-J100-K = Kalrez(FFKM)全氟醚高温耐腐蚀密封款
接口标准
法兰:JIS B2290 真空法兰 100A,螺栓紧固,O 型圈密封,直接匹配日系原装真空管路。
压力适用范围
常压 10⁵ Pa ~ 高真空 10⁻⁵ Pa,粗抽、工艺真空全区间可用。
氦检泄漏性能(高真空关键指标)
阀片内部密封泄漏:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
传动轴外部轴封泄漏:≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
材质
介质接触部分:SUS304 镜面抛光不锈钢(低放气、低发尘)
标准密封:FKM 氟橡胶;升级 - K:Kalrez 全氟醚密封
温度参数
阀体最高耐受:150℃;BAR-J100-K 最高 200℃
伺服电机环境温度:≤40℃(电机禁止腔体烘烤)
驱动与控制
供电:DC24V
调节行程:0~90° 无级连续开度调节
结构:伺服电机直驱、无齿轮背隙,微小开度流量线性稳定
⚠️重点区分:BAR 标准版断电无自锁,压差可推动阀片;断电需要保持开度选用 GAR-J100
信号与配套控制器
支持:0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯
推荐配套:MS-VP(模拟量 PID 稳压)、MG-mini485(通讯组网控制)
定位:日系真空设备主力调压口径,量产产线优选
光学真空镀膜(用量最高)
日系卷绕镀膜机、镜头蒸镀、AR 膜、装饰膜 PVD 设备;安装在主抽管路,闭环稳压,保障膜层均匀性。
半导体、等离子工艺腔体
等离子清洗、小型 PECVD、沉积腔体、刻蚀配套真空排气流量调节;进口日系工艺腔体改造优选。
锂电、光伏真空产线(日系机型)
连续式真空烘烤、大容量腔体真空压力调控。
中型科研真空设备
电子束蒸发、材料脱气、中型高真空实验平台。
原装日本进口真空设备改造 → BAR-J100
工艺温度>120℃、等离子腐蚀、溶剂气氛 → 选 BAR-J100-K
工艺要求断电锁阀、防止大气倒灌 → 更换 GAR-J100
管路为 KF/ISO 法兰,对应选型 BAR-N100 / BAR-I100