日本代理Miyuki美幸辉 BAR-J150 BAR系列控制蝶阀
日本代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

一、型号释义

• BAR：伺服直驱连续可调真空控制蝶阀（标准版无断电刹车）

• J：JIS B2290 日标真空法兰

• 150：公称通径 150A（DN150）

  衍生型号：BAR-J150-K = Kalrez（FFKM）全氟醚高温耐腐蚀密封款

二、详细技术规格

1. 接口标准

   法兰：JIS B2290 真空法兰 150A，螺栓紧固、O 圈密封，匹配日立、新科隆、爱发科等日系大型真空设备原装管路。

2. 压力适用范围

   常压 10⁵ Pa ～ 高真空 10⁻⁵ Pa，粗抽、工艺真空全区间适用。

3. 氦检泄漏指标（高真空关键）

• 阀片内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 传动轴外部轴封泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

4. 材质配置

   介质接触区域：SUS304 镜面抛光不锈钢（低放气、低粉尘、洁净制程适配）

   标准密封：FKM 氟橡胶；升级 -K：Kalrez 全氟醚密封

5. 温度参数

   阀体长期耐受：150℃；BAR-J150-K 最高 200℃

   伺服电机环境温度：≤40℃（电机严禁腔体烘烤）

6. 驱动与控制

   供电：DC24V

   调节行程：0～90° 无级连续开度调节

   结构：伺服电机直驱、无齿轮背隙，微小开度流量线性稳定

   ⚠️关键区分：BAR 标准版断电无自锁，压差可推动阀片；断电需要锁定开度，选用 GAR-J150

7. 信号与配套控制器

   支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯；

   推荐配套：MS-VP（PID 闭环稳压）、MG-mini485（总线通讯控制）

三、产品核心优势

四、适用场景（BAR-J150，大腔体主力口径）

定位：日系大型真空量产设备主管路调压阀，大容积腔体标配

1. 大型光学真空镀膜（最主流）

   大型平面基板镀膜、连续卷绕镀膜机、大面积镜头 / 显示屏蒸镀设备；安装在主抽管路，闭环稳定工艺真空。

2. 半导体、大型等离子工艺腔体

   大型 PECVD、基板等离子处理、大面积沉积腔体排气流量调节；进口日系量产设备改造。

3. 锂电、光伏大型真空产线（日系机型）

   大容量连续真空烘烤、大型真空热处理腔体压力调控。

4. 大型科研真空平台

   大面积材料镀膜、电子束蒸发、大型脱气高真空腔体。

五、选型建议

原装日系大型真空设备、腔体容积大、主抽管路 → BAR-J150

工艺温度＞120℃、等离子环境、腐蚀性气体 → 选用 BAR-J150-K

工艺要求断电锁阀、防止大气倒灌、压力失控 → 更换 GAR-J150

管路为 KF/ISO 法兰，对应选型 BAR-N150 / BAR-I150