广东代理Miyuki美幸辉 BAR-N50 BAR系列控制蝶阀
广东代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

一、型号释义

• BAR：伺服直驱连续可调真空控制蝶阀（标准版无断电刹车）

• N：ISO-KF（NW）快拆卡箍法兰

• 50：公称通径 50A（KF50/NW50）

  衍生型号：BAR-N50-K = Kalrez（FFKM）全氟醚高温耐腐蚀密封款

二、详细技术规格

1. 接口标准

   法兰：KF50（NW50）快拆真空法兰，卡箍 + 定心环 + O 圈密封，拆装便捷，通用实验室、中试设备真空管路。

2. 压力适用范围

   常压\(10^5\ \text\) ～ 高真空 \(\boldsymbol\ \text}\)，粗抽、工艺真空全区间适用。

3. 氦检泄漏指标（高真空验收标准）

• 阀片内部密封泄漏：\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

• 传动轴外部轴封泄漏：\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

4. 材质配置

   介质接触区域：SUS304 镜面抛光不锈钢（低放气、低粉尘，洁净真空适用）

   标准密封：FKM 氟橡胶；升级 -K：Kalrez 全氟醚密封

5. 温度参数

   阀体长期耐受：150℃；BAR-N50-K 最高 200℃

   伺服电机环境温度：≤40℃（电机不能随腔体烘烤）

6. 驱动与控制

   供电：DC24V

   调节行程：0～90° 无级连续开度调节

   结构：伺服电机直驱、无齿轮背隙，微小开度流量线性稳定

   ⚠️关键区分：BAR 标准版断电无自锁，压差可推动阀片；断电需要锁定开度，选用同法兰 GAR-N50B

7. 信号与配套控制器

   支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯；

   推荐配套：MS-VP（PID 闭环稳压）、MG-mini485（总线通讯控制）

三、产品核心优势

四、适用场景（BAR-N50，小型中试腔体主流口径）

定位：实验室中型腔体、中试试验机、小型研发产线主力调压阀

1. 科研真空实验设备（用量最大）

   小型溅射镀膜、电子束蒸发、材料脱气炉、试样真空热处理腔体；用于闭环稳压、梯度缓慢泄压。

2. 等离子实验平台

   等离子清洗、表面改性、小型 PECVD 设备，调节排气流量稳定工艺压力。

3. 小样量产试验机、研发型镀膜设备

   小型光学试样镀膜、装饰膜试验设备抽气管路压力调节。

4. 真空系统旁路、辅助管路

   真空腔体缓破空管路、分压支路、工艺载气流量微调。

五、选型建议

1. 管路为 KF50 快拆、需要频繁拆装维护 → BAR-N50

2. 工艺温度＞120℃、等离子环境、腐蚀性工艺气体 → BAR-N50-K

3. 工艺要求断电锁阀，防止大气倒灌、压力失控 → 更换 GAR-N50B

4. 管路为 JIS/ISO/CF 法兰，对应选型 BAR-J50 / BAR-I50 / BAR-C50