日本代理Miyuki美幸辉 BAR-N63 BAR系列控制蝶阀
日本代理Miyuki美幸辉BAR系列控制蝶阀

一、型号释义

• BAR：伺服直驱连续可调真空控制蝶阀（标准版无断电刹车）

• N：ISO-KF（NW）快拆卡箍法兰

• 63：公称通径 63A（KF63 / NW63）

  衍生型号：BAR-N63-K = Kalrez（FFKM）全氟醚高温耐腐蚀密封款

二、详细技术规格

1. 接口标准

   法兰：KF63（NW63）快拆真空法兰，卡箍 + 定心支架 + O 圈密封，拆装维护便捷，国内实验室、中试设备通用管路标准。

2. 压力适用范围

   常压\(10^5\ \text\) ～ 高真空 \(\boldsymbol\ \text}\)，粗抽、工艺真空全区间适用。

3. 氦检泄漏指标（高真空验收标准）

• 阀片内部密封泄漏：\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

• 传动轴外部轴封泄漏：\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

4. 材质配置

   介质接触区域：SUS304 镜面抛光不锈钢（低放气、低粉尘，适配洁净工艺）

   标准密封：FKM 氟橡胶；升级 -K：Kalrez 全氟醚密封

5. 温度参数

   阀体长期耐受：150℃；BAR-N63-K 最高 200℃

   伺服电机环境温度：≤40℃（电机禁止腔体烘烤）

6. 驱动与控制

   供电：DC24V

   调节行程：0～90° 无级连续开度调节

   结构：伺服电机直驱、无齿轮背隙，微小开度流量线性稳定

   ⚠️关键区分：BAR 标准版断电无自锁，压差可推动阀片；断电需要锁定开度，选用同法兰 GAR-N63B

7. 信号与配套控制器

   支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯；

   推荐配套：MS-VP（PID 闭环稳压）、MG-mini485（总线通讯控制）

三、产品核心优势

四、适用场景（BAR-N63，KF 系列主力热销型号）

定位：中型研发腔体、中试试验机、小型量产样机优选调压阀

1. 科研真空镀膜设备

   中小型溅射机、电子束蒸发、试样蒸镀设备，主抽管路闭环稳压，保障薄膜均匀性。

2. 等离子工艺平台

   等离子清洗、表面改性、小型 PECVD 设备，调节排气流量稳定工艺压力。

3. 材料研发真空装置

   真空脱气、真空热处理、锂电池 / 光学材料小样实验腔体。

4. 中试量产样机、自动化试验线

   小型连续式真空设备，工艺压力动态调节；也可用于梯度缓破空控制。

五、选型建议

1. 管路为 KF63 快拆、需要经常性拆装维护 → BAR-N63

2. 工艺温度＞120℃、等离子环境、腐蚀性气体、溶剂氛围 → BAR-N63-K

3. 工艺要求断电锁阀，防止大气倒灌、真空压力失控 → 更换 GAR-N63B

4. 管路为 JIS/ISO/CF 法兰，对应选型 BAR-J63 / BAR-I63 / BAR-C63