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日本代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

日本代理Miyuki美幸辉 GAR-J100B GAR系列控制蝶阀
日本代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

  • 产品型号:GAR-J100B
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-30
  • 访  问  量:4
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日本代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀

日本代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀


MIYUKI(美幸辉)GAR系列控制闸阀是一款通过阀板垂直升降来控制流导的精密真空阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合,构成一套完整的压力控制系统

⚙️ 工作原理

GAR系列的核心在于其闸阀结构电机直驱技术。系统通过接收模拟信号(DC 0~10V或4~20mA) ,由控制器驱动电机,无背隙地精确控制阀板升降。阀板的直线运动改变了流道的等效截面积,从而实现对气体流导的连续、精密调节。与BAR系列蝶阀相比,其直通式流道在全开时流阻极小,排气效率更高

✨ 核心优势

  • 优秀的断电保护:全系列标配带电磁制动的电机。断电时,阀门能自动锁定在全闭位置或保持当前开度,防止工艺异常

  • 超低泄漏与洁净:采用不锈钢本体和氟橡胶密封,泄漏率极低。内部泄漏量可低至 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下,且无金属滑动部件,颗粒排放低

  • 大流量与宽泛适配:排气特性优良,支持 80A 至 400A 的宽广口径范围,工作压力覆盖 10⁵ Pa 至 10⁻⁶ Pa

GAR系列非常适合半导体、真空镀膜等需要高洁净度、大抽速及断电安全的高真空工艺


一、型号释义

GAR-J100B
  • GAR:伺服直驱真空调节蝶阀,内置电磁断电刹车(失电锁定阀位)

  • J:JIS B2290 日标真空法兰

  • 100:公称通径 100A(JIS100)

  • B:制动电机(断电抱闸)

    衍生型号:GAR-J100B-K = Kalrez(FFKM)全氟醚高温耐腐蚀密封款

二、详细技术规格

  1. 接口标准

    法兰:JIS B2290 JIS100 日标真空法兰,螺栓紧固 O 圈密封,日系量产真空设备最主流口径。

  2. 压力适用范围

    常压\(10^5\ \text\) ~ 高真空 \(\boldsymbol\ \text}\),粗抽、工艺真空全区间适用。

  3. 氦检泄漏指标(高真空验收标准)

  • 阀片内部密封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

  • 传动轴外部轴封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)

  1. 材质配置

    介质接触区域:SUS304 镜面抛光不锈钢(低放气、低粉尘,适配洁净工艺)

    标准密封:FKM 氟橡胶;升级 -K:Kalrez 全氟醚密封

  2. 温度参数

    阀体长期耐受:150℃;GAR-J100B-K 最高 200℃

    伺服电机环境温度:≤40℃(电机禁止腔体烘烤)

  3. 驱动与控制

    供电:DC24V

    调节行程:0~90° 无级连续开度调节

    结构:伺服电机直驱、无齿轮背隙;断电电磁抱闸锁定开度,停电不会被压差推动阀片

    ⚠️关键区分:GAR 带断电自锁;无断电保护需求可选同规格 BAR-J100

  4. 信号与配套控制器

    支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯;

    推荐配套:MS-VP(PID 闭环稳压)、MG-mini485(总线通讯控制)

、产品核心优势

✅ 断电锁阀保护样品,高阶光学镀膜、半导体产线安全标配
✅ JIS100 日系量产设备主力口径,市场需求量最高
✅ 流通能力与调节精度均衡,长时间连续生产运行稳定
✅ 低发尘低出气,满足高阶薄膜、精密元器件生产环境

四、适用场景

定位:日系中型量产真空设备主力安全型调压阀
  1. 日系卷绕镀膜、镜头 AR 膜量产蒸镀设备主抽管路稳压

  2. 半导体 PVD、等离子清洗量产腔体,防止停电大气返流污染基板

  3. 进口日系锂电、光伏材料真空处理量产设备改造

  4. 高价值样品生产工艺,设备规范强制要求断电阀位保持

五、选型建议

  1. 日系中型量产真空产线、管路 JIS100 法兰、具备断电安全需求 → GAR-J100B

  2. 工艺温度>120℃、等离子腐蚀、腐蚀性工艺气体 → GAR-J100B-K

  3. 无断电锁阀要求、预算有限,可选用 BAR-J100

  4. 管路为 KF/ISO/CF 法兰,对应选型 GAR-N100B / GAR-I100B / GAR-C100B




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