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产品型号:GAR-J150B
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-30
访 问 量:4
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联系电话:135-3775-9898
进口代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀
进口代理Miyuki美幸辉GAR系列控制蝶阀
MIYUKI(美幸辉)GAR系列控制闸阀是一款通过阀板垂直升降来控制流导的精密真空阀门。它通常与MS-VP自动压力控制器组合,构成一套完整的压力控制系统。
GAR系列的核心在于其闸阀结构与电机直驱技术。系统通过接收模拟信号(DC 0~10V或4~20mA) ,由控制器驱动电机,无背隙地精确控制阀板升降。阀板的直线运动改变了流道的等效截面积,从而实现对气体流导的连续、精密调节。与BAR系列蝶阀相比,其直通式流道在全开时流阻极小,排气效率更高。
优秀的断电保护:全系列标配带电磁制动的电机。断电时,阀门能自动锁定在全闭位置或保持当前开度,防止工艺异常。
超低泄漏与洁净:采用不锈钢本体和氟橡胶密封,泄漏率极低。内部泄漏量可低至 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下,且无金属滑动部件,颗粒排放低。
大流量与宽泛适配:排气特性优良,支持 80A 至 400A 的宽广口径范围,工作压力覆盖 10⁵ Pa 至 10⁻⁶ Pa。
GAR系列非常适合半导体、真空镀膜等需要高洁净度、大抽速及断电安全的高真空工艺
GAR:伺服直驱真空调节蝶阀,内置电磁断电刹车(失电锁定阀位)
J:JIS B2290 日标真空法兰
150:公称通径 150A(JIS150)
B:制动电机(断电抱闸)
衍生型号:GAR-J150B-K = Kalrez(FFKM)全氟醚高温耐腐蚀密封款
接口标准
法兰:JIS B2290 JIS150 日标真空法兰,螺栓紧固 O 圈密封,适配日系大容量真空腔体主管道。
压力适用范围
常压\(10^5\ \text\) ~ 高真空 \(\boldsymbol\ \text}\),粗抽、工艺真空全区间适用。
氦检泄漏指标(高真空验收标准)
阀片内部密封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)
传动轴外部轴封泄漏:\(\boldsymbol\ \text^3/\text}\)
材质配置
介质接触区域:SUS304 镜面抛光不锈钢(低放气、低粉尘,适配洁净工艺)
标准密封:FKM 氟橡胶;升级 -K:Kalrez 全氟醚密封
温度参数
阀体长期耐受:150℃;GAR-J150B-K 最高 200℃
伺服电机环境温度:≤40℃(电机禁止腔体烘烤)
驱动与控制
供电:DC24V
调节行程:0~90° 无级连续开度调节
结构:伺服电机直驱、无齿轮背隙;断电电磁抱闸锁定开度,停电不会被压差推动阀片
⚠️关键区分:GAR 带断电自锁;无断电保护需求可选同规格 BAR-J150
信号与配套控制器
支持 0~10V / 4~20mA 模拟量、RS485 通讯;
推荐配套:MS-VP(PID 闭环稳压)、MG-mini485(总线通讯控制)
定位:日系大型量产真空腔体主管路安全调压阀
大型日系平面基板镀膜、宽幅卷绕蒸镀生产线
大容量半导体、显示面板等离子处理腔体
大型进口锂电连续真空烘烤、材料热处理腔体
高投入量产产线,对停电故障防护等级要求严苛场景
日系大型量产腔体、主抽管路 JIS150 法兰、断电安全防护刚需 → GAR-J150B
工艺温度>120℃、等离子环境、腐蚀性气体 → GAR-J150B-K
无断电锁阀要求、预算有限,可选用 BAR-J150
管路为 KF/ISO/CF 法兰,对应选型 GAR-N150B / GAR-I150B / GAR-C150B