进口代理OTSUKA大塚电子线上膜厚检测系统

进口代理OTSUKA大塚电子线上膜厚检测系统

LineScan线上膜厚检测系统

◎采用Line Scan方式，实现无"遗漏"的全面Film检查

以往的自动量测方式，于薄膜制程的膜厚是点的量测，无法做全面检查。
不符合标准的周围部分全部切除废弃，提升良率及生产效率是需要克服的课题。
Line scan采用影像感测器(Image sensor)，将取得的光信号转换成类比信号的量测方式。
相较于市面上常见的X光以及红外线量测方式，大冢所采用的光谱干涉方式除了可完整对应生产线上的即时量测需求外，搭配的膜厚演算处理技术也提供了具备高度信赖性的量测精度。
目前Line Scan系列(线量测)主要适用于全幅宽的膜厚检测用途，以往采用光谱仪搭配光纤或者是显微镜系统的量测设备(点量测)仅能针对单一点位或区域进行膜厚检测，如要进行全面膜厚均匀性检测的场合通常就需要采用密集点位量测方式来应对。
整体量测不仅耗时费工,如发生工程品质不良问题也不容易进行产线追溯。

◎膜厚量测专业制造商才能提供的厚量测系统

　LineScan方式的膜厚计，采用独自开发的光干涉法的组合高速、高精度膜厚演算技术，实现最短0.01秒间隔，500mm幅宽(使用1台时)的全面膜厚量测。 
　宽幅度的薄膜也可装置多台检出器得到相同的结果。

◎LineScan方式的检查方式，可达成全幅、全长的量测，精准判断在膜厚基准外的部分。

　不易受到薄膜的分布及皱褶影响，期待贡献在各个领域上薄膜品的品质管理上更加精进。

• 特色1:藉由1次影像撷取来取得即时的2维光谱

• 特色2:具备高度空间解析以及波长解析能力

⦿薄膜的厚度(全幅、全长量测)

 

⦿光学薄膜、胶粘膜、包装薄膜、导电薄膜

规格样式

量测范例