产品中心/ products

您的位置:首页  -  产品中心  -    -  OTSUKA大塚电子  -  OPTM series日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪

日本代理OTSUKA大塚电子 OPTM series 显微分光膜厚量测仪
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪

  • 产品型号:OPTM series
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-27
  • 访  问  量:14
立即咨询

联系电话:135-3775-9898

产品详情

日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪

日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪


显微分光膜厚量测仪OPTM series

超高速1秒测量,媲美椭圆偏光仪的1nm极薄膜量测·3um微小聚焦·精度速度的优秀演绎

非接触式膜厚测定必要的机能集中在一个量测头

显微分光下广范围的光学系统(紫外~近红外),最小对应spot约3um高精度、高再现性量测,绝对反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)单点对焦加量测于1秒内完成初学者也能轻松解析的初学者解析模式独立测定头对应各种inline客制化需求

1.媲美椭圆偏光仪的极薄膜量测表现(1nm~)

2.远超椭圆偏光仪的超高速量测速度(1秒/点)

3.远小于椭圆偏光仪的聚焦量测面积(最小3um)

应用范围

  • FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)

  • 半导体、复合半导体:矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料

  • 资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料

  • 光学材料:滤光片、抗反射膜

  • 平面显示器:液晶显示器、薄膜电晶体、OLED

  • 薄膜:AR膜

  • 其它:建筑用材料

显微分光膜厚仪产品规格

 OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3
波长范围230~800纳米360~1100纳米900~1600纳米
膜厚范围1纳米 ~ 35微米7纳米 ~ 49微米16纳米 ~ 92微米
测量时间1秒/ 1点
光径大小5 ~ 40μm (选择物镜)、min.3um(选择物镜x40)
感光元件中心盘InGaAs
光源规格氘灯+卤素灯卤素灯
重复准确率100nm以下:0.1nm 
100nm以上:0.07%
样品大小最大200×200×17 mm*

*另有300mm样品载台,请洽询我们。

 自动XY载台固定式载台崁入式
大小556×566×618 毫米368×468×491毫米210×441×474 mm
90×250×190 mm*(AC电源部分)
重量66公斤38公斤23 kg
4 kg*(AC电源部分)
机台外观日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
 
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
 
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
 
电源交流100V±10V 500VA交流100V±10V 400VA


在线咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
  • 企业名称:

    玉崎科学仪器(深圳)有限公司

  • 联系电话:

    135-3775-9898

  • 公司地址:

    深圳市龙华区龙华街道松和社区龙华大道3698号泽华大厦802

  • 企业邮箱:

    michiko@tamasaki.com

扫码添加微信

Copyright © 2026玉崎科学仪器(深圳)有限公司 All Rights Reserved    备案号:

技术支持:化工仪器网    管理登录    sitemap.xml