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产品型号:OPTM series
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-27
访 问 量:14
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联系电话:135-3775-9898
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
日本代理OTSUKA大塚电子显微分光膜厚量测仪
超高速1秒测量,媲美椭圆偏光仪的1nm极薄膜量测·3um微小聚焦·精度速度的优秀演绎
非接触式膜厚测定必要的机能集中在一个量测头
显微分光下广范围的光学系统(紫外~近红外),最小对应spot约3um高精度、高再现性量测,绝对反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)单点对焦加量测于1秒内完成初学者也能轻松解析的初学者解析模式独立测定头对应各种inline客制化需求
1.媲美椭圆偏光仪的极薄膜量测表现(1nm~)
2.远超椭圆偏光仪的超高速量测速度(1秒/点)
3.远小于椭圆偏光仪的聚焦量测面积(最小3um)
FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)
半导体、复合半导体:矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料
光学材料:滤光片、抗反射膜
平面显示器:液晶显示器、薄膜电晶体、OLED
薄膜:AR膜
其它:建筑用材料
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波长范围 | 230~800纳米 | 360~1100纳米 | 900~1600纳米 |
| 膜厚范围 | 1纳米 ~ 35微米 | 7纳米 ~ 49微米 | 16纳米 ~ 92微米 |
| 测量时间 | 1秒/ 1点 | ||
| 光径大小 | 5 ~ 40μm (选择物镜)、min.3um(选择物镜x40) | ||
| 感光元件 | 中心盘 | InGaAs | |
| 光源规格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
| 重复准确率 | 100nm以下:0.1nm 100nm以上:0.07% | ||
| 样品大小 | 最大200×200×17 mm* | ||
*另有300mm样品载台,请洽询我们。
| 自动XY载台 | 固定式载台 | 崁入式 | |
|---|---|---|---|
| 大小 | 556×566×618 毫米 | 368×468×491毫米 | 210×441×474 mm 90×250×190 mm*(AC电源部分) |
| 重量 | 66公斤 | 38公斤 | 23 kg 4 kg*(AC电源部分) |
| 机台外观 | ![]() | ![]() | ![]() |
| 电源 | 交流100V±10V 500VA | 交流100V±10V 400VA | |