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产品型号:
厂商性质:代理商
更新时间:2026-07-28
访 问 量:15
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进口代理OTSUKA大塚电子崁入式膜厚量测仪
进口代理OTSUKA大塚电子崁入式膜厚量测仪
OTSUKA大塚嵌入式膜厚量测仪以分光干涉法为基本原理。测量时,宽谱光照射至薄膜样品,在薄膜上表面与下表面分别产生反射光。两束反射光因薄膜厚度所形成的光程差而产生相位偏移并发生干涉;系统通过高精度光谱仪获取反射率随波长变化的干涉光谱。
在信号处理上,该仪器搭载高精度FFT(快速傅里叶变换)膜厚解析系统,将干涉光谱的周期性振荡转换为膜厚信息。其采用光学光纤传输光信号,测量头可灵活嵌入各类制造设备中。该方案以非接触、非破坏方式实现高速实时测量,适用于CMP研磨终点检测、晶圆减薄监控等产线嵌入式场景
作为一体式薄膜厚度计,使用光纤轻松集成到晶圆工艺的磨削和沉积设备中。远端同步控制、高速多点同步量测等,丰富多样的光学系统套件与应用软体,提供特殊环境下理想的膜厚解决方案。
| 产品特色 |
● 自由搭配光纤,建构理想的光学系统
● 远隔测量、高速多点量测
● 可架设于生产线上或其他设备中,进行样品全数检测
● 提供丰富多样的选配套件与应用软体
| 装置构成 |

| 膜厚量测范围20nm-10um (膜厚值为光学膜厚nd) | 20nm-10um (膜厚值为光学膜厚nd) |
| 波长量测范围 | 430-650nm |
| 样品对应尺寸 | 客制化 |
| 光学系统 | 光纤+透镜(嵌入式) |
| 量测口径 | 约φ1.2mm |
| 量测时间 | 0.08秒~10秒 |